[发明专利]注浆成型用的模具、其使用方法及所制成的生胚和ITO靶材无效
| 申请号： | 200910143355.5 | 申请日： | 2009-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN101890752A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 罗济锦;周建纲 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28B1/26 | 分类号： | B28B1/26;C23C14/35;C23C14/08;C04B35/622;C04B35/64;C04B35/01;C04B35/457 |
| 代理公司： | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人： | 葛强;张一军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 成型 模具 使用方法 制成 ito 靶材 | ||
1.一种注浆成型用的模具，其特征在于：包括底部、侧壁以及由该底部和侧壁所围成的一容纳空间，其中仅有所述底部的材料为吸水性多孔质的材料，而该侧壁无法吸水。
2.如权利要求1所述注浆成型用的模具，其特征在于：所述吸水性多孔质的材料是石膏、树脂或高分子半透膜，所述侧壁是以非吸水性材质所组成。
3.如权利要求2所述注浆成型用的模具，其特征在于：所述非吸水性材质是塑料片、金属片或玻璃片。
4.如权利要求1所述注浆成型用的模具，其特征在于：所述侧壁是以与该底部相同材质所组成，且在该侧壁内侧设置有非吸水性材质所组成的隔板。
5.如权利要求4所述注浆成型用的模具，其特征在于：所述非吸水性材质是塑料片、金属片或玻璃片。
6.一种生胚，其特征在于：是使用如权利要求1至5中任一项所述注浆成型用的模具所成型的产品，其中所述生胚的相对密度大于50％。
7.一种制作ITO靶材的方法，其特征在于：包含调浆、注浆成型、脱模干燥和烧结的步骤，以获得所述ITO靶材，其中所述注浆成型步骤包括使用如权利要求1至5中任一项所述注浆成型用的模具以成型生胚，其中所述生胚的相对密度大于50％。
8.如权利要求7项所述的方法，其特征在于：所述烧结步骤包括至少一次低温预烧结以及至少一次高温烧结。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于：所述的高温烧结是在氧浓度为95％以上的气氛中进行。
10.一种ITO靶材，其特征在于：是以权利要求7、8或9所述的方法制得的产品。
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