[发明专利]一种原位合成基因芯片的制作装置无效
| 申请号： | 200910144209.4 | 申请日： | 2009-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101963762A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 胡亦宁;张威 | 申请（专利权）人： | 胡亦宁;张威 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;G03F1/00;G02F1/13;C12Q1/68 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所 34114 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 原位 合成 基因芯片 制作 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种原位合成基因芯片的制作装置，包括曝光光源、光掩膜版和基板，所述曝光光源位于光掩膜版的上方，所述基板位于光掩膜版的下方；与光掩膜版相对的基板表面设有感光敏抗蚀层；其特征在于：
所述光掩膜版为电子可编程掩膜版，所述电子可编程掩膜版为液晶开关单元阵列；
所述每个液晶开关单元包括同轴设置的起偏器、液晶单元和检偏器，与起偏器和检偏器相对的液晶单元的两侧面分别为透明正电极或透明负电极，透明正电极和透明负电极之间连接电源；
所述曝光光源和电子可编程掩膜版与计算机电连接。
2.根据权利要求1所述的一种原位合成基因芯片的制作装置，其特征在于：所述液晶开关单元阵列中的每个液晶开关单元均位于同一平面内。
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