[发明专利]用于纳米级位移系统的纳米扫描台无效
| 申请号： | 200910144969.5 | 申请日： | 2009-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN101650978A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 王克逸;吴云良;张兴华;郝鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G12B21/22 | 分类号： | G12B21/22;G01N13/10 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230026安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 纳米 位移 系统 扫描 | ||
【权利要求书】：
1.用于纳米级位移系统的纳米扫描台，其特征在于：所述纳米扫描台包括位于矩形底板(1)上的扫描台支架(2)，扫描台支架(2)顶部设有矩形顶板(3)；所述顶板(3)和底板(1)的中部均设有通孔；与顶板(3)和底板(1)的通孔对应的纳米扫描台内设有柔性铰链(7)；所述柔性铰链(7)为四棱短管状，其每一侧壁均为由内侧壁和外侧壁组成的夹层薄壁，柔性铰链(7)的每一侧外侧壁均通过细杆连接着内套筒(8)外端，内套筒(8)连接着压电陶瓷管，压电陶瓷管的另一端设于外套筒(9)内，外套筒(9)的外端连接着扫描台支架(2)，且柔性铰链(7)四棱外侧的四根压电陶瓷管均布在扫描台的两个对角线方向的四个角处；柔性铰链(7)的轴向顶面连接着样品台(4)，且样品台(4)上部伸至顶板中部的通孔外侧。
2.根据权利要求1所述的用于纳米级位移系统的纳米扫描台，其特征在于：在200V电压驱动下，压电陶瓷管在径向移动距离为40um。
3.根据权利要求1所述的用于纳米级位移系统的纳米扫描台，其特征在于：在200V电压驱动下，压电陶瓷管在轴向移动距离为50um。
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