[发明专利]基板切割方法有效
申请号: | 200910145990.7 | 申请日: | 2003-09-24 |
公开(公告)号: | CN101596722A | 公开(公告)日: | 2009-12-09 |
发明(设计)人: | 西尾仁孝;冈岛康智;大岛幸雄;大成弘行;吉本和宏 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B26D1/14 | 分类号: | B26D1/14;B28D5/00;C03B33/03;C03B33/023 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杨松龄 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 方法 | ||
1.一种基板划线方法,其用于在通过粘合一对母基板形成的粘 合母基板的上表面和下表面上形成划痕线,在所述粘合母基板上,所 述粘合母基板的上表面和下表面分别面对着划痕线形成装置,其中,
(1)所述划痕线形成装置包括盘状刀轮,在其外周上形成有刀 刃,在所述刀刃上以规定的间距形成有多个突起,
(2)所述划痕线形成装置以能旋转的方式分别安装到上部基板 分断装置和下部基板分断装置上,所述上部基板分断装置沿着上侧导 轨以能运动的方式设置,所述下部基板分断装置沿着下侧导轨以能运 动的方式设置,并且,借助于沿着所述上侧导轨移动所述上部基板分 断装置以及借助于沿着所述下侧导轨移动所述下部基板分断装置,所 述划痕线沿顺着所述相应的上侧导轨和下侧导轨的方向分别形成在 所述粘合母基板的所述上表面和下表面上,
(3)上侧导轨和下侧导轨二者都沿着与主架对正交的方向架设, 上侧导轨和下侧导轨二者的相应的端面通过连结板连接到彼此以形 成一个单元,并且借助于使安装在所述连结板的内侧面上的可动件滑 动以插到安装在所述主架上并且沿着所述主架的纵向的固定件内,所 述上侧导轨和下侧导轨二者沿着所述主架的纵向作为一个单元移动, 使得所述划痕线沿着所述主架的纵向分别形成在所述粘合母基板的 上表面和下表面上,
(4)通过上述(2)和(3)的步骤,具有相应于面板基板的形 状的矩形形状的划痕线形成在所述粘合母基板的上表面和下表面上, 并且
所述方法还包括向刻有划痕线的粘合母基板的正反面上喷射蒸 气的步骤。
2.如权利要求1所述的基板划线方法,其中,上述划痕线是由 构成各母基板的厚度方向上深达80%或以上的垂直裂纹形成的,所 述母基板由通过粘合基板对形成的粘合母基板构成。
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