[发明专利]气体流速校验系统和方法有效

专利信息
申请号: 200910147220.6 申请日: 2006-03-15
公开(公告)号: CN101672669A 公开(公告)日: 2010-03-17
发明(设计)人: V·王;R·J·迈内克 申请(专利权)人: 兰姆研究公司
主分类号: G01F1/34 分类号: G01F1/34;G01F7/00;G01F17/00;G01F22/02;G01F25/00
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人: 蔡民军;胡 强
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 气体 流速 校验 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种气体流速校验设备,包括:

限定在第一室内的第一体积;

限定在第二室内的第二体积,第二体积大于第一体积,其中通过阀 门,使第二体积与第一体积相隔离,其中第一体积和第二体积中的每一 个,或第一和第二体积两者可选为测量气体流速的测试体积;

多个桥式管线,各限定为将第一体积连接至第二体积;

分别地连接至该多个桥式管线的多个压力测量装置,所述多个压力测 量装置在结构上与第一体积或第二体积、或第一和第二体积两者通过流体 联通地或者既不与第一体积也不与第二体积流体联通地连接。

2.根据权利要求1所述的设备,其中第一体积和第二体积的每一个, 通过流体联通与要测量气体流速的气体源连接,第一和第二体积中的每一 个与该气体源单独隔离。

3.根据权利要求1所述的设备,还包括:

加热器,用来加热第一体积和第二体积;及

温度测量装置,它能测量第一体积和第二体积内的温度。

4.根据权利要求1所述的设备,还包括:

用来从许多气体源中的每一个接收气体供应的输入管道,此输入管道 还将接收到的气体供应引向选定的测试体积。

5.根据权利要求1所述的设备,其中,

所述多个桥式管线包括用来连接第一体积和第二体积的第一桥式管 线,此第一桥式管线包括第一阀门和第二阀门,其中该多个压力测量装置 的第一压力测量装置处在该第一阀门和第二阀门之间。

6.根据权利要求5所述的设备,其中,

所述多个桥式管线包括用来连接第一体积和第二体积的第二桥式管 线,此第二桥式管线包括第三阀门和第四阀门,其中该多个压力测量装置 的第二压力测量装置处在该第三阀门和第四阀门之间,其中该多个压力测 量装置的第二压力测量装置限定为与该多个压力测量装置的第一压力测量 装置相比所测量的压力更大。

7.根据权利要求1所述的设备,还包括:

将第一体积与泵连接的第一放气管线,此第一放气管线包括将第一体 积与泵隔离的第一放气阀门;和

将第一体积与泵连接的第二放气管线,此第二放气管线包括将第二体 积与泵隔离的第二放气阀门。

8.根据权利要求1所述的设备,其中第二体积至少比第一体积大10 倍。

9.根据权利要求1所述的设备,还包括:

控制系统,用来使气体流速测量设备的压力增长速率结构通过用于测 量气体流速的测试体积的选择来构成气体流速测量的测量结构。

10.根据权利要求1所述的设备,其中第一室包括第一可密封的活动 盖,使得能够进入第一体积;以及

第二室包括第二可密封的活动盖,使得能够进入第二体积。

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