[发明专利]工件底面浸入液面的激光切割装置

权利要求书

1.一种工件底面浸入液面的激光切割装置，其特征在于，包括：

一液体容器，用以容纳一液体；

一工件固定部，用以固定一工件，该工件具有一第一表面及一第二表面，该工件的第一表面浸于该液体中；

一激光产生部，用以产生一激光光束至该工件的第二表面，进而进行该工件的切割。

2.根据权利要求1所述的工件底面浸入液面的激光切割装置，其特征在于：又设有一循环系统，该循环系统包括一入口部、一循环驱动部、一循环过滤部及一出口部，该入口部及该出口部是连接至该液体容器，该循环驱动部是驱动该液体由该入口部流动至该循环系统，经该循环过滤部进行过滤后由该出口部流回该液体容器。

3.根据权利要求2所述的工件底面浸入液面的激光切割装置，其特征在于：所述循环系统又包括一供应部，用以供应一预定物，混合于该液体中。

4.根据权利要求1所述的工件底面浸入液面的激光切割装置，其特征在于：又包括数个支撑部，设于该液体容器及该工件的第一表面间，用以支撑该工件。

5.根据权利要求4所述的工件底面浸入液面的激光切割装置，其特征在于：所述支撑部具有一吸附部、一入水通道、一出水通道、一驱动部及一过滤部，该驱动部是用以吸引该液体进入该入水通道，使该吸附部产生一吸力而吸附于该工件的第一表面上，且吸入该入水通道的液体在经由该过滤部的过滤后，是由该出水通道排出而达到循环。

6.根据权利要求1所述的工件底面浸入液面的激光切割装置，其特征在于：所述液体的液面高于该工件，形成一液体薄膜，而该激光产生部又设有一喷气部，用以供应一预定气体而朝该工件的第二表面喷出，形成一气体工作区，使该液体薄膜被阻隔于该气体工作区的范围外。