[发明专利]数控多晶硅硅芯多线切割机床

权利要求书

1.一种数控多晶硅硅芯多线切割机床，包括机床立柱、底座、口字型切割 导轮组件、工作台升降机构、工件装载夹持装置和收放线绕线张力控制机构， 其特征在于，所述口字型切割导轮组件包括钢制圆滚筒和多层导向轮，钢制圆 滚筒的表面涂覆有聚氨酯材料，按照设定线距开槽；多层导向轮倾斜一定角度 并和滚筒形成上下层布置，金刚石线交叉组成多个方形或菱形的线网。

2.根据权利要求1所述的数控多晶硅硅芯多线切割机床，其特征在于，所 述线距为5-20毫米。

3.根据权利要求2所述的数控多晶硅硅芯多线切割机床，其特征在于，还 包括超声波换能器，安装在被加工工件上方，交变电信号通过超声波换能器转 变为机械振动，使被加工工件产生微颤。

4.根据权利要求2所述的数控多晶硅硅芯多线切割机床，其特征在于，所 述钢制圆滚筒直径大于200毫米。

5.根据权利要求2所述的数控多晶硅硅芯多线切割机床，其特征在于，收 放线轮的驱动，采用伺服电机主轴通过软性联轴器直接同轴连接。

6.根据权利要求2所述的数控多晶硅硅芯多线切割机床，其特征在于，被 加工工件被固定在机床上部。