[发明专利]缺陷检测方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及对膜上的缺陷进行光学检测的缺陷检测方法及装置。 

背景技术

近年来，随着需求日益扩大，作为液晶显示器中偏振片的保护膜或光学补偿膜，多在显示屏上贴附具有光学各向异性的相位差膜。相位差膜(以下简称为“膜”)通过在透明支承体上形成取向膜的工序以及在形成取向膜的支承体上涂布液晶之后干燥形成液晶层的工序制造(例如(日本)特开平9-73081号公报)。在各工序中，尽管进行了严格的质量管理，但是，在制造中，由于异物的混入、附着而导致分子取向缺陷(取向缺陷)、液晶层的涂布厚度不匀(相位差缺陷)等缺陷要想完全去掉是很困难的。 

在膜上如果存在缺陷，由于由此导致光散射，所以，在膜的制造工艺中，设置光学式缺陷检测装置，检测膜的缺陷。该缺陷检测装置由对膜照射光的光照射器，接收来自该膜的光的光接收器，分析来自光接收器输出信号的处理电路构成。作为该光接收器，采用具有摄像装置(线传感器或面传感器)的电视相机，膜的宽度方向上线扫描的扫描信号(摄像信号)输出作为输出信号。 

另外，在光照射器和光接收器之间也可以以彼此的偏振方向正交(十字尼科耳(crossed Nichol))的方式配置一对偏振片。该一对偏振片防止膜上无缺陷时光进入光接收器，而在膜上有缺陷时则在该缺陷处发生散射、扩散的光进入光接收器，从而容易检测出缺陷((日本)特开平6-148095号公报)。另外，通过对来自光接收器的输出信号进行微分处理，从而不但加强了缺陷部分的信号，而且缺陷部分之外的信号，即所谓的噪音信号得到降低，从而也能够容易地检测出缺陷。 

近年来，为追求更高质量的膜，希望得到一种能够直到检测到微细缺陷之前都精度很好的缺陷检测方法。通常，缺陷检测精度采用在来自光接 收器的输出信号中缺陷部分的信号(缺陷信号)除以缺陷部分之外的信号(噪音(noise)信号)的值(S/N)表示，该S/N越大缺陷检测精度越高。 

因此，为得到更大的S/N，不但需要提高缺陷信号，而且需要最小限度的抑制噪音信号。作为提高缺陷信号的方法，通常考虑通过对膜照射高辉度的光从而提高膜上缺陷处散射、扩散的光的强度。 

然而，对于发出高辉度的光的光照射器而言，如金属卤化物灯等，多存在陡峰值，即存在辉线。在如膜这样的薄的透明体上照射具有这样的多条辉线的光的情况下，将会在膜上形成具有明亮光部分的干涉条纹。因此，由于没有缺陷的部分也存在强光，所以噪音信号变大，结果使S/N降低。另外，在十字尼科耳上配置一对偏振片，并且使之对膜的迟相轴倾斜的情况下，由于没有缺陷时从该对偏振片透过的光很少，所以如果存在多条辉线的光照射到膜上，则将会由于干涉条纹的影响而使得噪音信号变大。因此，对于具有高辉度的光照射器而言，在具有多条辉线的情况下，由于干涉条纹的影响而反到使得S/N降低。 

另外，在十字尼科耳上配置一对偏振片检测缺陷的情况下，来自光接收器的输出信号由于膜的光学特性及光接收器的接收特性，在膜的宽度方向的中央部的辉度很高，从其中央部的两端部辉度缓缓变小。在对这样的输出信号进行微分处理时，缺陷信号将影响其周边的噪音信号。 

例如，如图7(A)所示，如果在膜上存在多个相同程度的缺陷，在各缺陷处散射，漫射的光的辉度相同的情况下对输出信号进行微分处理的话，则会如图(B)所示，对膜的宽度方向的噪音信号的倾斜度位于负的区域的缺陷信号将比倾斜度位于正的区域的缺陷信号小。因此，如图7(B)所示，在用于缺陷检测的阈值设定为一定辉度值Th的情况下，噪音信号的倾斜度位于正的区域的缺陷信号位于Th以上而被检测出，而另一方面，倾斜度位于负的区域的缺陷信号则由于不足Th而没检测到。因此，无论缺陷为何种程度，无论散射、漫射的光的辉度是否相同，则噪音信号的倾斜度无论为正为负，都存在缺陷信号不能检测出来的问题。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种不降低S/N而能够高精度进行缺陷检测的 缺陷检测方法及装置。 

另外，本发明目的还在于提供一种能够防止缺陷部分的检测失误的缺陷检测方法及装置。