[发明专利]基板保持装置

权利要求书

1.一种基板保持装置，其在保持装置主体的基板保持侧具有静电吸盘，用于对基板进行静电吸附，其特征在于，

该基板保持装置包括：

加热部件，其内置在上述静电吸盘中，用于加热基板；

循环介质流通路径，其形成在上述保持装置主体的内部，与用于循环供给循环介质的循环介质供给部件相连接；

热传递能可变部件，其将传热气体封闭在上述保持装置主体与上述静电吸盘的间隙中而形成，并与能够调整封闭压力的传热气体供给系统相连接；

气体封闭部件，其将传热气体封闭在上述静电吸盘与上述基板之间的间隙中而形成，并与传热气体供给系统相连接。

2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

将作为上述热传递能可变部件的上述保持装置主体与上述静电吸盘之间的间隙设定为0.15～0.5mm。

3.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，其特征在于，

上述热传递能可变部件能够根据上述传热气体的封闭压力以及气体的有无来改变传热率。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的基板保持装置，其特征在于，

用于向上述热传递能可变部件中供给传热气体的传热气体供给系统、和用于向上述气体封闭部件中供给传热气体的传热气体供给系统形成为不同的系统，能够分别独立地控制封闭压力。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的基板保持装置，其特征在于，

在作为上述热传递能可变部件的上述保持装置主体与上述静电吸盘之间的间隙的周围配置有隔热构件。

6.根据权利要求5所述的基板保持装置，其特征在于，

上述隔热构件由传热率为25W/m²·K以下的材料构成。

7.一种基板保持装置，其在保持装置主体的基板保持侧具有静电吸盘，用于对基板进行静电吸附，其特征在于，

该基板保持装置包括：

加热部件，其内置在上述静电吸盘中，用于加热上述基板；

循环介质流通路径，其形成在上述保持装置主体的内部，与用于循环供给循环介质的循环介质供给部件相连接；

热传递能可变部件，其作为传热气体的封闭空间而划分形成在上述保持装置主体的内部的上述循环介质流通路径的上部，并与能够调整封闭压力的传热气体供给系统相连接。

8.根据权利要求7所述的基板保持装置，其特征在于，

将热传递构件夹设在上述保持装置主体与上述静电吸盘之间。

9.根据权利要求8所述的基板保持装置，其特征在于，

上述热传递构件由具有传热率在10～200W/m²·K的范围内的材料形成。

10.根据权利要求9所述的基板保持装置，其特征在于，

上述热传递构件是碳片或氮化铝薄片。

11.根据权利要求7～10中任意一项所述的基板保持装置，其特征在于，

在上述基板与上述静电吸盘之间封闭有传热气体。

12.根据权利要求11所述的基板保持装置，其特征在于，

用于向上述热传递能可变部件中供给传热气体的传热气体供给系统、和用于向上述基板与上述静电吸盘之间供给传热气体的传热气体供给系统形成为不同的系统，能够分别独立地控制封闭压力。

13.根据权利要求7～12中任意一项所述的基板保持装置，其特征在于，

利用隔热构件划分上述热传递能可变部件的周围。

14.根据权利要求13所述的基板保持装置，其特征在于，

上述隔热构件由传热率为25W/m²·K以下的材料形成。

15.根据权利要求1～14中任意一项所述的基板保持装置，其特征在于，

上述加热部件是能控制温度的加热器。

16.根据权利要求1～15中任意一项所述的基板保持装置，其特征在于，

上述循环介质是氟类介质或混合有乙二醇的冷却水、或纯水。