[发明专利]液晶显示器的滤色器阵列制造中的光刻胶剥离剂组合物无效
申请号: | 200910150246.6 | 申请日: | 2009-06-23 |
公开(公告)号: | CN101630127A | 公开(公告)日: | 2010-01-20 |
发明(设计)人: | 金柄郁;尹锡壹;郑宗铉;许舜范;辛成健;郑世桓;张斗瑛;朴善周;权五焕 | 申请(专利权)人: | 株式会社东进世美肯 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42;G02F1/1362;G02F1/1368 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱 梅;鲁云博 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液晶显示器 滤色器 阵列 制造 中的 光刻 剥离 组合 | ||
技术领域:
本发明涉及液晶显示器用的光刻胶剥离剂组合物,特别涉及无滤色器膨胀现象,金属防腐效果及感光膜去除效果均很优秀的光刻胶剥离剂组合物。该组合物可适于在和以往的LCD工艺不同的滤色器阵列的制造工艺中使用。
背景技术:
液晶显示器是目前使用最广泛的一种平板显示器,由两张显示板及插设于其中间的液晶层构成。其中,所述两张显示板上均设有电极。这种显示器通过对电极上施加电压而重新排列液晶层的液晶分子,从而调整透光量。
液晶显示器中目前主要使用的是在两张显示板上均设有用于形成电场的电极的结构。其中最普遍使用的是,在一个显示板上由多个薄膜晶体管和像素电极排列成矩阵形状,而另一个显示板上设有红、绿、蓝滤色器,并在所述滤色器的整个表面上覆盖有共用电极的结构。
但是,这种液晶显示器由于其像素电极和滤色器分别设置在不同的显示板上,很难把像素电极和滤色器精密调准(align),从而会产生调准误差。
为了解决上述问题,最近有一种滤色器阵列(color filter on array,COA)结构问世。在所述滤色器阵列中,滤色器和像素电极设置在同一个显示板上,而所述滤色器则设置在薄膜晶体管阵列上。在这种滤色器阵列结构中,所述滤色器则通过使用包含彩色颜料的光刻胶进行光刻工序而形成,而在薄膜构图中可以使用剥离剂。
即在滤色器阵列结构中,形成滤色器后需要形成像素电极等的薄膜,而滤色器被裸露在这种薄膜的构图中。然而,当使用具有一般有机剥离剂组分的现有剥离剂时,在去除滤色器的感光膜时会损伤滤色器,从而导致滤色器的表面不均匀,进而导致滤色器与将层叠在其上的薄膜之间的粘结性(adhesion)下降。而且,叠层在滤色器上方的薄膜会产生翘起或裂开(crack)现象,此时液晶在每个位置上的填充厚度不同,会存在液晶未均匀填充的部分,而这种结果会导致外部显示不良,因此需要减少这种现象。
技术内容:
本发明是鉴于上述问题而提出的。本发明的目的是提供一种适于在液晶显示器的滤色器阵列结构制造中使用的剥离剂组合物。所述组合物可以防止滤色器膨胀所引起的显示不良问题,而且可最大限度地减少对下部膜的损伤,不仅如此,对感光膜的剥离性能也很优秀。
本发明的另一个目的是提供一种液晶显示器的制造方法。所述方法使用上述剥离剂组合物,在液晶显示器上形成滤色器阵列结构。
为达到上述目的,本发明提供一种剥离剂组合物,其用于在液晶显示器的滤色器阵列(color filter on array)制造工艺中剥除光刻胶,该组合物包含:1-40重量%的水溶性有机胺化合物;3-40重量%的水;及余量的水溶性有机溶剂。
本发明的剥离剂组合物,相对于100重量份的所述剥离剂组合物,进一步包含0.1-10重量份的防腐剂。
特别是,所述组合物用于在包括透明绝缘基板、栅电极、栅极绝缘膜、半导体层、源电极及漏电极、滤色器、绝缘膜及像素电极的滤色器阵列(colorfilter on array)结构的液晶显示器的制造工艺中剥除在所述绝缘膜或像素电极的构图中使用的形成感光图形的光刻胶。
本发明还提供一种液晶显示器的制造方法,其包括:在滤色器上形成绝缘钝化膜的步骤及在所述绝缘钝化膜上形成像素电极的步骤,其中所述液晶显示器在一个基板上具有滤色器和像素电极的滤色器阵列结构。其中,在所述形成绝缘钝化膜的步骤及形成像素电极的步骤中的至少一个步骤中包括以下步骤:在所述滤色器或绝缘钝化膜上涂敷光刻胶以形成感光膜;将所述感光膜曝光而形成多个感光图形;利用所述感光图形进行蚀刻;及用上述剥离剂组合物剥除所述感光图形。
优选地,本发明的液晶显示器的制造方法通过包括以下步骤的方法制备液晶显示器的滤色器阵列结构:
在透明绝缘基板上形成栅电极;
在所述栅电极上形成栅极绝缘膜;
在所述栅极绝缘膜上形成半导体;
在所述半导体上形成源电极及漏电极;
在所述源电极和漏电极上形成滤色器;
在所述滤色器上形成绝缘钝化膜;及
在所述绝缘钝化膜上形成像素电极。
其中,在所述绝缘钝化膜的形成步骤及所述像素电极的形成步骤中的至少一个步骤中包括以下步骤:在所述滤色器或绝缘钝化膜上涂敷光刻胶而形成感光膜;将所述感光膜曝光而形成多个感光图形;用所述感光图形进行蚀刻;及用上述剥离剂组合物剥离所述感光图形。
下面详细说明本发明。
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