[发明专利]用于MOS栅器件的表面几何结构无效
申请号: | 200910150498.9 | 申请日: | 2003-05-09 |
公开(公告)号: | CN101697349A | 公开(公告)日: | 2010-04-21 |
发明(设计)人: | 理查德·A·布朗夏尔 | 申请(专利权)人: | 通用半导体公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L29/78;H01L23/48;H01L23/52 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 李佳;穆德骏 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 mos 器件 表面 几何 结构 | ||
1.一种MOS栅器件,包括:
不连续贴片的阵列,其中,所述阵列中的每一贴片包含源区、体区及栅接触区;
源和体金属化层,它与所述阵列中的至少两个贴片的源和体区电接触;及
栅金属化层,它与所述阵列中的至少两个贴片的栅接触区电接触。
2.如权利要求1所述的器件,其中,所述阵列中的每一贴片包含四个栅接触区,而且其中,对于不与阵列周边处的贴片相邻的任何贴片,栅金属化层与至少两个栅接触区电接触。
3.如权利要求2所述的器件,其中,栅金属化层与阵列中的至少一些贴片的两个栅接触区电接触。
4.如权利要求1所述的器件,其中,阵列中的所述多个贴片的每一贴片通过一间隙彼此分隔开,而且其中,源和体金属化层延伸穿过所述间隙。
5.如权利要求1所述的器件,其中,所述栅金属化层包含多个不连续金属带。
6.如权利要求5所述的器件,其中,所述多个不连续金属带中的每一个都被所述源和体金属化层包围,但在空间上是分隔开的。
7.如权利要求1所述的器件,还包含源极焊盘。
8.如权利要求1所述的器件,还包含栅极焊盘。
9.如权利要求1所述的器件,其中,多个贴片基本上相同。
10.如权利要求1所述的器件,其中,多个贴片中的每一贴片基本上为矩形。
11.如权利要求1所述的器件,其中,多个贴片中的每一贴片基本上为正方形。
12.如权利要求1所述的器件,其中,每一贴片基本上为矩形,而且其中,每一贴片的每一角包含设于其上面的栅接触区。
13.如权利要求1所述的器件,其中,每一贴片基本上为正方形,而且其中,每一贴片的每一角包含设于其上面的栅接触区。
14.如权利要求1所述的器件,其中,所述阵列还包含:栅金属化层及源和体金属化层,而且其中,栅金属化层及源和体金属化层彼此间电绝缘。
15.如权利要求1所述的器件,其中,所述阵列中的至少一些贴片包含其中设有沟道的外延层,而且其中,所述沟道中设有部分掺杂多晶硅。
16.如权利要求1所述的器件,其中,所述阵列中的至少一个贴片包含栅极结构。
17.如权利要求1所述的器件,其中,部分栅极结构为电浮动。
18.一种MOS栅器件,包含:
不连续贴片的阵列,所述阵列包括:第一多个贴片,沿阵列的外部排列,及第二多个贴片,排列在阵列内部,其中,所述第一和第二多个贴片的每一贴片具有源区、体区和栅接触区,而且其中,所述第二多个贴片的每一贴片具有源区、体区和栅接触区;
源和体金属化层,它与第二多个贴片的源和体区电接触;及
终端金属化层,它与所述第一多个贴片的每一贴片上的至少一个源区、至少一个体区和至少一个栅接触区电接触。
19.如权利要求18所述的器件,其中,终端金属化层与所述第一多个贴片的每一贴片上的每一源区、每一体区和至少一个栅接触区电接触。
20.如权利要求18所述的器件,还包含栅金属化层,它与所述第二多个贴片的至少两个贴片的栅接触区电接触。
21.如权利要求18所述的器件,其中,所述阵列包含至少4个贴片。
22.如权利要求18所述的器件,其中,所述阵列包含至少6个贴片。
23.如权利要求18所述的器件,其中,所述阵列包含至少8个贴片。
24.如权利要求18所述的器件,其中,还包含栅极焊盘。
25.如权利要求18所述的器件,其中,还包含源和体焊盘。
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