[发明专利]半导体装置无效
申请号: | 200910150584.X | 申请日: | 2009-06-26 |
公开(公告)号: | CN101621040A | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 平光真二;太田裕之;佐佐木康二;中村真人;池田靖;松吉聪 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/29;H02M7/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,具有:
基电极;
半导体芯片,其隔着第一接合材料设置于所述基电极,且具有整流功 能;
引线电极,其经由第二接合材料连接在所述半导体芯片的上侧,并与 引线相连;以及
第一应力缓冲材料,其降低所述第一接合材料的应力,
在所述第一接合材料的所述基电极侧的面上设置有所述基电极和所 述第一应力缓冲材料分别直接接触的区域,
所述第一接合材料和所述第二接合材料使用焊料,
所述第一应力缓冲材料的线膨胀系数在3×10-6/℃以上,且在12×10-6/℃以下。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
在所述基电极的所述半导体芯片装载侧的面上设置凸部,该凸部与所 述第一接合材料的所述基电极侧的面直接接触。
3.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,
所述基电极的凸部形成圆柱形状,所述第一应力缓冲材料具有覆盖所 述凸部的周围而配置为同心圆状的环状形状,所述凸部的外周面和所述第 一应力缓冲材料的内周面直接接触。
4.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
所述基电极的所述半导体芯片装载侧的面上具有多个柱状的凸部,按 照包围所述多个凸部的外周面的方式配置所述第一应力缓冲材料。
5.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
在所述第一接合材料下面的面内,在所述基电极的外侧配置所述第一 应力缓冲材料。
6.一种半导体装置,其特征在于,具有:
基电极,其在周边部具有壁部;
半导体芯片,其经由第一接合材料设置在所述基电极上,且具有整流 功能;
引线电极,其经由第二接合材料连接在所述半导体芯片的上侧,并与 引线相连;
第一应力缓冲材料,其降低所述第一接合材料的应力;以及
第二应力缓冲材料,其降低所述第二接合材料的应力,
在所述第一接合材料的所述基电极侧的面上设置所述基电极和所述 第一应力缓冲材料分别直接接触的区域,
在所述第二接合材料的所述引线电极侧的面上设置所述引线电极和 所述第二应力缓冲材料分别直接接触的区域,
所述第一接合材料和所述第二接合材料使用焊料,
所述第一应力缓冲材料和所述第二应力缓冲材料的线膨胀系数在 3×10-6/℃以上,且在12×10-6/℃以下。
7.根据权利要求6所述的半导体装置,其特征在于,
所述第一应力缓冲材料和所述第二应力缓冲材料的线膨胀系数在 3×10-6/℃以上且在8×10-6/℃以下。
8.根据权利要求6或7所述的半导体装置,其特征在于,
所述第一应力缓冲材料以及所述第二应力缓冲材料是Mo、W或者Fe -Ni合金。
9.根据权利要求6或7所述的半导体装置,其特征在于,
所述第一应力缓冲材料和所述第二应力缓冲材料是由Mo、W、Fe- Ni合金中的任意一种和Cu构成的复合材料。
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