[发明专利]钛靶材的加工方法有效
| 申请号： | 200910151153.5 | 申请日： | 2009-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101613851A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/18 | 分类号： | C22F1/18;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钛靶材 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种钛靶材的加工方法，其特征在于，包括：通过三次精度渐增的机械加工对钛工件进行处理，其中，在三次机械加工过程中用全周夹具固定钛工件，并且至少在第一次机械加工和第二次机械加工之间对钛工件进行应力释放，在第一次机械加工后对钛工件进行整平后再进行应力释放。
2.如权利要求1所述的钛靶材的加工方法，其特征在于，在第二次机械加工和第三次机械加工之间也对钛工件进行应力释放。
3.如权利要求1或2所述的钛靶材的加工方法，其特征在于，所述应力释放包括：将钛工件闲置至少8小时。
4.如权利要求3所述的钛靶材的加工方法，其特征在于，所述整平包括：采用压力机对钛工件进行整平。
5.如权利要求4所述的钛靶材的加工方法，其特征在于，所述应力释放包括：将钛工件闲置至少8小时。
6.如权利要求5所述的钛靶材的加工方法，其特征在于，所述将钛工件闲置为将钛工件置于室温条件下。
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