[发明专利]激光加工装置和激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于：

是通过对加工对象物照射激光从而用包含2个以上的基本加工图 案的整体加工图案总括地对加工对象物进行加工的激光加工装置；

该激光加工装置具备：

输出激光的激光光源，

相位调制型的空间光调制器，输入从所述激光光源输出的激光， 并显示分别在被二维排列的多个像素上调制所述激光的相位的整体全 息图，从而输出其相位调制后的激光，

成像光学系统，输入从所述空间光调制器输出的激光，并将该激 光在所述加工对象物上成像，

存储部，将分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图进行 存储，并且将相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图进行存储，以及

控制部，将选自由所述存储部所存储的多个基本全息图中的2个 以上的基本全息图并列配置，并将所述聚光用全息图重叠于该并列配 置的各个基本全息图，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图 显示于所述空间光调制器中，

所述存储部存储分别相当于焦点距离互为不同的多个菲涅耳透镜 图案的多个聚光用全息图，

所述成像光学系统的成像位置以及成像倍率为可变的，

所述控制部使重叠于所述基本全息图的所述聚光用全息图的焦点 距离和所述成像光学系统的成像位置或者成像倍率发生互相关联，从 而进行控制。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：

所述成像光学系统包括远心光学系统。

3.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：

所述控制部将多个整体全息图并列配置并显示于所述空间光调制 器中，

所述激光加工装置具备：入射位置调整机构，使从所述激光光源 输出的激光，对被显示于所述空间光调制器中的多个整体全息图，按 顺序入射；以及成像位置调整机构，调整在所述加工对象物上的由所 述成像光学系统进行的激光的成像的位置。

4.一种激光加工方法，其特征在于：

是通过对加工对象物照射激光从而用包含2个以上的基本加工图 案的整体加工图案总括地对所述加工对象物进行加工的激光加工方 法，

所述激光加工方法使用：

输出激光的激光光源，

相位调制型的空间光调制器，输入从所述激光光源输出的激光， 并显示分别在被二维排列的多个像素上调制所述激光的相位的整体全 息图，从而输出该相位调制后的激光，

成像光学系统，输入从所述空间光调制器输出的激光，并将该激 光在加工对象物上成像，以及

存储部，将分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图进行 存储，并且将相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图进行存储，

并且所述激光加工方法是：将选自由所述存储部所存储的多个基 本全息图中的2个以上的基本全息图并列配置，将聚光用全息图重叠 于该并列配置的各个基本全息图上，从而构成整体全息图，将该构成 的整体全息图显示于所述空间光调制器中，并将从所述激光光源输出 的激光入射到所述空间光调制器中，由所述成像光学系统将从所述空 间光调制器输出的激光在所述加工对象物上成像，

将分别相当于焦点距离互为不同的多个菲涅耳透镜图案的多个聚 光用全息图存储到所述存储部中，

使用成像位置以及成像倍率为可变的系统作为所述成像光学系 统，

使重叠于所述基本全息图的所述聚光用全息图的焦点距离和所述 成像光学系统的成像位置或者成像倍率发生互相关联，从而进行控制。

5.如权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于：

所述成像光学系统包括远心光学系统。

6.如权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于：

将多个整体全息图并列配置并显示于所述空间光调制器中，

对被显示于所述空间光调制器中的多个整体全息图，按顺序入射 从所述激光光源输出的激光，

调整在所述加工对象物上的由所述成像光学系统进行的激光的成 像的位置。