[发明专利]角速度传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种角速度传感器，包括：

第一层，由具有第一主面和与所述第一主面相对的第二 主面的硅基板制成，所述第一层包括振动部和支持所述振动部 的基底部，所述第一层具有与所述振动部相同的厚度，所述第 一主面上形成有热氧化层；

压电功能层，形成在所述振动部的所述热氧化层上，依 次堆叠了下部电极、压电层和上部电极；

多个端子部，在所述第一主面的一侧形成在基底部上， 用于将所述压电功能层电且机械连接于配线基板；

第二层，在所述第二主面的一侧结合至所述基底部上包 括所述端子部的形成位置的区域以露出所述振动部，所述第二 层比所述第一层厚，由硅基板制成；以及

结合层，形成在所述第一层和所述第二层之间，由将所 述第一层和所述第二层整体结合的二氧化硅层制成。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，

其中，所述振动部包括三个彼此平行延伸的支臂部。