[发明专利]基于标准柱塞的气体流量校准装置

权利要求书

1.一种基于标准柱塞的气体流量校准装置，其特征在于：将导向套(4)安装在机架(1)上，电动缸由电机(20)、电动缸体(2)和活塞杆组成，电动缸体(2)安装在机架(1)底部，电动缸体(2)的底部外安装有带编码器(21)的电机(20)，电动缸体(2)与活塞杆之间为滑动配合，柱塞(3)固定安装在活塞杆顶端，电动缸通过活塞杆与柱塞(3)连接并驱动柱塞(3)上下运动；导向套(4)内圈与柱塞(3)之间设有两道密封环，导向套(4)侧面设有进油口(19)和气体进口(7)，气体进口处设有电磁气阀(6)，进油口(19)开在两道密封环之间，密封环内装有密封圈(5)，气体进口(7)开在两道密封环之上，导向套(4)上端面设有垫圈(18)，缸体(8)的一端置于垫圈(18)上，缸体(8)的另一端经垫圈与上盖板(16)连接，柱塞(3)、导向套(4)、缸体(8)和上盖板(16)之间形成一个密封腔体；在上盖板(16)上分别设有用来测量密封腔体内的压力和温度的压力传感器(9)和温度传感器(10)，上盖板(16)中心设有被检流量计(17)安装口，用压紧装置将被检流量计(17)固定，被检流量计(17)出口处经压力传感器(15)、阀门(14)与真空泵(13)连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于标准柱塞的气体流量校准装置，其特征在于：所述压紧装置为气缸(11)，气缸(11)安装在上安装架(12)。

3.根据权利要求1所述的一种基于标准柱塞的气体流量校准装置，其特征在于：一端置于垫圈(18)上的所述缸体(8)为玻璃管或金属管。