[发明专利]一种镉锌氧合金薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200910153430.6 | 申请日： | 2009-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101665917A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 陈培良;张瑞捷;马向阳;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镉锌氧 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种镉锌氧合金薄膜的制备方法，其特征在于，利用磁控溅射法在衬底上制备镉锌氧薄膜，具体包括以下步骤：
1)利用球磨后陶瓷压制方法制备镉锌合金靶材或镉锌氧陶瓷靶材；
2)采用步骤1)制备的镉锌合金靶材或镉锌氧陶瓷靶材，利用磁控溅射法在衬底上制备镉锌氧薄膜。
2、如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的镉锌合金靶材或镉锌氧陶瓷靶材中镉和锌的原子含量比为0～1。
3、如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤2)中利用磁控溅射法沉积薄膜时，衬底温度为500℃～750℃，溅射时通入氩气或氩氧混合气，腔内压强为2～15Pa，溅射功率为80～150W。
4、如权利要求1-3任一制备方法制备的镉锌氧合金薄膜，其特征在于，所述的镉锌氧合金薄膜为c轴取向性生长的单一六方相薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910153430.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
