[发明专利]激光诱导放电增强等离子光谱检测装置

权利要求书

1.激光诱导放电增强等离子体光谱检测装置，包括由YAG激光器和透镜组成的入射单元、由探头、光纤、光谱仪组成的信号接收单元、载物台和数据分析单元，其特征在于所述的等离子体光谱检测装置设有一高压快放电回路组成的信号增强单元，该信号增强单元包括高压直流电源、高压二极管、电感、电容和由两个放电电极组成的放电器，所述的放电器与电容并联后，与电感和高压二极管串联，所述高压直流电源的正极连接高压二极管的正极，负极接地，所述入射单元发出的激光束穿过两个放电电极之间的空隙。

2.根据权利要求1所述的激光诱导放电增强等离子体光谱检测装置，其特征在于所述的两个放电电极的间距为5mm～6mm，所述电容容量为6nF，直流电源的电压范围为0kv～30kv。

3.根据权利要求1或2所述的激光诱导放电增强等离子体光谱检测装置，其特征在于所述的放电电极为球状电极。