[发明专利]一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程

说明书

技术领域

本发明涉及一种为掩膜版进行倒边和磨边的设备以及该设备的加工过程。

背景技术

掩膜版是广泛应用在电子行业的重要加工工具之一，掩膜版的倒边和磨边是掩膜版加工制造过程中的重要加工环节，其加工质量好坏，直接影响到掩膜版的质量。目前，掩膜版的倒边和磨边工序都是靠人工手动完成，这种加工方式不仅劳动强度大、生产效率低，更重要的是倒边和磨边的质量难以保证，并且加工精度都比较低，很难将经手动倒边和磨边的掩膜版应用到高端产品中，特别是大尺寸掩膜版的倒边和磨边，其加工质量就更难保证。

发明内容

本发明的一个目的是针对现有的对掩膜版进行倒边和磨边加工的现状，提供一种可以自动完成倒边和磨边的掩膜版倒边磨边机。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种掩膜版倒边磨边机，包括掩膜版支撑平台装置，包括掩膜版支撑板，和对放置在所述掩膜版支撑板上的掩膜版进

行调整定位的定位调整组件；

倒边装置，包括在其移动过程中同时磨削掩膜版的某一边上的上下两个棱边的倒边磨头，所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转；

磨边装置，包括在其移动过程中磨削掩膜版的某一边的边平面的磨边磨头，所述磨边磨头在磨边磨头旋转电机的带动下旋转；

倒边磨边传动装置，包括倒边装置滑座和磨边装置滑座，二者均与一导轨滑动配合连接，所述倒边装置和磨边装置分别安装在倒边装置滑座和磨边装置滑座上；倒边动力传动系统和

磨边动力传动系统，分别带动所述倒边装置滑座和磨边装置滑座沿着所述导轨左右移动，使所述倒边装置和磨边装置在移动过程中分别对放置在所述掩膜版支撑平台装置上的掩膜版进行倒边加工和磨边加工；以及，

电控系统，控制所述倒边和磨边动力传动系统、倒边磨头旋转电机，以及磨边磨头旋转电机协调动作。

优选地，所述掩膜版支撑板的正面开有若干组非穿透性的沟槽，每组沟槽以所述掩膜版支撑板的一个端点为基准，将其划分为占据不同面积的方形支撑区域，以适应不同规格的掩膜版；所述掩膜版支撑板的背面开有若干组与所述若干组沟槽一一对应的沉槽，每组沉槽中的每个沉槽的中心线均与位于其上方的一组沟槽相对应，每个沉槽内设置有与位于其上方的一组沟槽相通的真空通气孔，每个沉槽中均安装有一真空气路块；每个真空气路块均通过一真空气接头与一真空室连通；所述掩膜版支撑平台装置还包括一盖在所述掩膜版支撑板上的防静电胶皮垫，其通过真空气路块的作用吸附在所述掩膜版支撑板上。

优选地，所述定位调整组件包括定位调整挡边，其两端分别固定安装有滚轮安装架，两端的滚轮安装架上均安装有使定位调整组件在掩膜版支撑板上前后滑动的支撑滚，所述滚轮安装架上还安装有在掩膜版支撑板上滚动的侧滚；所述定位调整挡边的两侧设置有用于定位的锁紧螺钉；在定位调整挡边的左端安装有左定位块，定位调整挡边上设置有可在其上滑动的右定位块，所述右定位块通过一锁紧手柄进行锁紧定位。

优选地，所述倒边磨边传动装置的导轨包括前导轨和后导轨；所述倒边动力传动系统包括倒边传动电机，其安装在所述后导轨的右侧端部，由所述倒边传动电机带动的倒边同步主动轮和倒边同步从动轮安装在所述前导轨和后导轨之间，并与一倒边传动同步带配合安装；所述磨边动力传动系统包括磨边传动电机，其安装在所述前导轨的左侧端部，由所述磨边传动电机带动的磨边同步主动轮和磨边同步从动轮安装在所述前导轨和后导轨之间，并与一磨边传动同步带配合安装；所述倒边装置滑座的后侧部分与所述倒边传动同步带固连，倒边装置滑座的前侧部分通过在其下方开一凹槽而与所述磨边传动同步带保持距离，所述磨边装置滑座的前侧部分与所述磨边传动同步带固连，磨边装置滑座的后侧部分通过在其下方开一凹槽而与所述倒边传动同步带保持距离；所述倒边传动电机和磨边传动电机由所述电控系统控制。

优选地，所述倒边磨边传动装置还包括倒边装置的左移限位单元和右移限位单元，以及磨边装置的左移限位单元和右移限位单元；

所述倒边装置的左移限位单元包括固装在所述倒边装置滑座后侧的倒边光控板和设置在位于后导轨左端外侧的与所述倒边光控板配合的左端倒边光电缺口，所述左端倒边光电缺口与所述电控系统通讯连接；倒边左移限位器，设置在所述后导轨的左端，用以防止倒边装置向左移动过头；

所述倒边装置的右移限位单元包括所述的倒边光控板和设置在位于后导轨右端外侧的与所述倒边光控板配合的右端倒边光电缺口，所述右端倒边光电缺口与所述电控系统通讯连接；倒边右移限位器，设置在后导轨与倒边传动同步带之间，用以防止倒边装置向右移动过头；