[发明专利]薄膜式转印材料

权利要求书

1.一种薄膜式转印材料，其特征在于，包括支撑体膜、光分解性光阻剂层以及保护膜，

如以下所定义的第一黏附力为0.1kg/100×100mm²以下，第二黏附力为0.1kg/100×100mm²以下，并且第二黏附力具有小于第一黏附力的值，第一黏附力：在由铟锡氧化物(indium tin oxide，ITO)涂布成厚度且宽度100×100mm²的玻璃基板上，以速度2.0m/min、温度110℃、加热滚轮压力10-90psi的条件层压薄膜式转印材料后，从光分解性光阻剂层脱模支撑体膜所需的力，

第二黏附力：将薄膜式转印材料裁断成宽度100×100mm²后，从光分解性光阻剂层仅脱模保护膜所需的力。

2.如权利要求1所述的薄膜式转印材料，其特征在于，第一黏附力为0.05kg/100×100mm²至0.07kg/100×100mm²，第二黏附力为0.05kg/100×100mm²至0.07kg/100×100mm²。

3.如权利要求1或2所述的薄膜式转印材料，其特征在于，光分解性光阻剂层包括碱溶性树脂和偶氮系感旋光性化合物。

4.如权利要求3所述的薄膜式转印材料，其特征在于，碱溶性树脂是酚醛清漆树脂。

5.如权利要求4所述的薄膜式转印材料，其特征在于，碱溶性树脂是甲酚酚醛清漆树脂。

6.如权利要求5所述的薄膜式转印材料，其特征在于，甲酚酚醛清漆树脂由凝胶渗透层析法(gel permeation chromatography，GPC)测定的重量平均分子量为2,000-30,000。

7.如权利要求5所述的薄膜式转印材料，其特征在于，甲酚酚醛清漆树脂是间/对甲酚的含量以4∶6-6∶4的重量基准比例混合的树脂。

8.如权利要求5所述的薄膜式转印材料，其特征在于，甲酚酚醛清漆树脂是由GPC测定的重量平均分子量为8,000-30,000的甲酚酚醛清漆树脂，与由GPC测定的重量平均分子量为2,000-8,000的甲酚酚醛清漆树脂，以7∶3-9∶1的重量比混合的树脂。

9.如权利要求3所述的薄膜式转印材料，其特征在于，偶氮系感旋光性化合物是从2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-偶氮基萘醌-5-磺酸酯、2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-偶氮基萘醌-5-磺酸酯、(1-[1-(4-羟苯基)异丙基]-4-[1，1-双(4-羟苯基)乙基]苯)-1，2-偶氮基萘醌-5-磺酸酯中所选出的一种以上。

10.如权利要求3所述的薄膜式转印材料，其特征在于，光分解性光阻剂层包括从2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮、1-[1-(4-羟苯基)异丙基]-4-[1，1-双(4-羟苯基)乙基]苯中所选出的一种以上之增敏剂。

11.如权利要求1所述的薄膜式转印材料，其特征在于，保护膜的厚度是15-30μm。