[发明专利]输送系统

说明书

技术领域

本发明涉及输送基板等输送对象物的系统。

背景技术

以在薄型显示器的制造中使用的玻璃基板为代表的基板， 一般地在收纳盒的每个缝隙中收纳一张基板，在一个收纳盒中收纳多 张基板。而且，在该基板的处理时，是从收纳盒一张一张地取出基板 而向基板处理装置输送，在处理后再从基板处理装置向收纳盒输入。 在此种设备的情况下，需要在收纳盒和处理装置之间输送基板的输送 系统。

在此，在由辊式输送机或带式输送机等输送基板的设备 中，因为相对于基板而言的各辊或者带的接触状态不一定均匀，所以 在输送途中基板有时逐渐倾斜。特别是在输送在与输送方向正交的方 向上长宽的基板的情况下，输送姿势的变化(基板相对于输送方向的 倾斜)变大。这样，如果在输送姿势变化了的状态下进行输送，则在 将基板输入或者输出于收纳盒或处理装置的情况下，基板的输送有时 不能顺利地进行。因此，为了修正基板的输送姿势，需要进行基板的 定位。另外，近年来，要求在同一输送系统上输送多种尺寸的基板， 因此，基板的定位需要是与不同的尺寸的基板对应的定位。

专利文献1及2公开了一种如下的进行输送的系统：并列 设置一对设置了定位用的突起的带式输送机，使得一方的带式输送机 的突起与基板的前边接触，另一方的带式输送机的突起与基板的后边 接触，在由各突起夹持基板的同时进行输送。

专利文献1：日本特开平8-26437号公报 专利文献2：日本特开平11-59847号公报 发明内容 发明所要解决的课题

但是，在专利文献1及2的系统中，带式输送机兼用于基 板的输送和突起的移动。因此，在一对带式输送机输送一个基板的期 间，一对带式输送机专用于该基板的输送，不能够连续地输送后续的 别的基板。

因此，本发明的目的在于提供能够进行尺寸不同的输送对 象物的定位而且连续地输送多个输送对象物的输送系统。 为了解决课题的手段

根据本发明，提供一种输送系统，其特征在于，具备：在 水平的输送轨道上，在预定的输送方向输送输送对象物的输送机构； 分别设置在了在与上述输送方向正交的水平方向相互离开间隔的多个 第一定位部上，在位于上述输送轨道上而与上述输送对象物的一方侧 部接触的第一接触位置和不位于上述输送轨道上的第一待机位置之间 可移动地设置的第一接触构件；分别设置在了在上述水平方向相互离 开间隔的多个第二定位部上，在位于上述输送轨道上而与上述输送对 象物的另一方侧部接触的第二接触位置和不位于上述输送轨道上的第 二待机位置之间可移动地设置的第二接触构件；与上述输送机构输送 的上述输送对象物的尺寸相应地选择使上述第一接触构件向上述第一 接触位置移动的上述第一定位部及使上述第二接触构件向上述第二接 触位置移动的上述第二定位部的选择机构；使设置在上述选择机构选 择的上述第一定位部上的上述第一接触构件向上述第一接触位置移动 的第一移动机构；使设置在上述选择机构选择的上述第二定位部上的 上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的第二移动机构；在上述 水平方向移动上述多个第一接触构件的第三移动机构。

在本发明的输送系统中，与输送对象物的尺寸相应地选择 使上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的上述第一定位部及使 上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的上述第二定位部，使其 分别向上述第一接触位置、上述第二接触位置移动。然后，通过在上 述水平方向移动上述第一接触构件，进行上述输送对象物的定位。

通过与输送对象物的尺寸相应地选择使上述第一接触构 件向上述第一接触位置移动的上述第一定位部及使上述第二接触构件 向上述第二接触位置移动的第二定位部，能够进行尺寸不同的输送对 象物的定位。另外，由上述输送机构输送输送对象物，上述接触位置 和上述待机位置之间的上述第一及第二接触构件的移动及上述第一接 触构件的上述水平方向的移动，通过由上述第一至第三移动机构进行， 能够由上述输送机构连续地输送多个输送对象物。

在本发明中，具备在上述水平方向延伸设置的支承全部上 述第一接触构件的支承构件，上述第三移动机构在上述水平方向移动 上述支承构件。

另外，在本发明中，上述第三移动机构具备与上述支承构 件连结的连结部和使上述连结部在水平方向滑动的驱动机构。