[发明专利]用于期望光谱中的光仿真的方法和装置无效

专利信息
申请号: 200910160954.8 申请日: 2009-07-31
公开(公告)号: CN101988633A 公开(公告)日: 2011-03-23
发明(设计)人: 李玉强;徐晓华 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: F21S2/00 分类号: F21S2/00;F21V14/02;H05B35/00;G01M11/00;G01R31/26
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 期望 光谱 中的 仿真 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种用于仿真期望光谱的光源,包括:

在第一平面中配置的第一多个第一类型的灯;和

在第二平面中配置的第一多个第二类型的灯,其中所述第二平面基本上平行于所述第一平面,且所述第一平面和所述第二平面之间的距离可被调整以仿真期望光谱。

2.根据权利要求1所述的光源,其中每个所述第二类型的灯被所述第一类型的灯所围绕。

3.根据权利要求2所述的光源,其中每个所述第一类型的灯消耗第一功率电平,每个所述第二类型的灯消耗第二功率电平。

4.根据权利要求3所述的光源,其中每个所述第一类型的灯是金属卤素灯,每个所述第二类型的灯是白炽灯或钨丝灯。

5.根据权利要求2所述的光源,还包括在基本平行于所述第二平面的第三平面中配置的第二多个第一类型的灯,其中所述第二多个第一类型的灯围绕第一多个第一类型的灯和第一多个第二类型的灯。

6.根据权利要求5所述的光源,其中所述第三平面和所述第一平面之间的距离是可调整的。

7.根据权利要求5所述的光源,还包括在基本平行于所述第一平面的第四平面中配置的第二多个第二类型的灯,其中所述第二多个第二类型的灯围绕第一多个第一类型的灯和第一多个第二类型的灯。

8.根据权利要求7所述的光源,其中所述第四平面和所述第一平面之间的距离是可调整的。

9.一种太阳仿真器模块,包括:

光源,其包括在第一平面中配置的第一多个第一类型的灯和在第二平面中配置的第一多个第二类型的灯,其中所述第二平面基本平行于所述第一平面,且所述第一平面和第二平面之间的距离是可调整的;

面向所述光源的器件支架;

被定位以与被放置在所述器件支架上的器件电接触的探针;和

包括多个接触节段的高电位测试框架,所述接触节段被安装在被配置用于缩回和伸出所述接触节段的致动器上。

10.根据权利要求9所述的模块,其中每个所述第二类型的灯被所述第一类型的灯所围绕。

11.根据权利要求10所述的模块,其中每个所述第一类型的灯消耗第一功率电平,每个所述第二类型的灯消耗第二功率电平。

12.根据权利要求11所述的模块,其中每个所述第一类型的灯是金属卤素灯,每个所述第二类型的灯是白炽灯或钨丝灯。

13.根据权利要求10所述的模块,还包括在平行于所述第二平面的第三平面中配置的第二多个第一类型的灯,其中所述第二多个第一类型的灯围绕所述第一多个第一类型的灯和所述第一多个第二类型的灯。

14.根据权利要求13所述的模块,其中所述第三平面和所述第一平面之间的距离是可调整的。

15.根据权利要求13所述的模块,还包括在基本平行于所述第一平面的第四平面中配置的第二多个第二类型的灯,其中所述第二多个第二类型的灯围绕所述第一多个第一类型的灯和所述第一多个第二类型的灯。

16.根据权利要求15所述的模块,其中所述第四平面和所述第一平面之间的距离是可调整的。

17.一种制成用于仿真期望光谱的光源的方法,包括:

在第一平面中布置第一多个第一类型的灯;

在基本平行于所述第一平面的第二平面中布置第一多个第二类型的灯;

调整所述第一平面和第二平面之间的距离以获得期望光谱。

18.根据权利要求17所述的方法,还包括布置所述第一多个第二类型的灯,以使得每个所述第二类型的灯被所述第一类型的灯所围绕。

19.根据权利要求18所述的方法,还包括在第三平面中布置第二多个第一类型的灯以围绕所述第一多个第一类型的灯和第一多个第二类型的灯,其中所述第三平面基本平行于所述第二平面。

20.根据权利要求19所述的方法,还包括调整所述第二平面和第三平面之间的距离以获得期望光谱。

21.根据权利要求19所述的方法,还包括在第四平面中布置第二多个第二类型的灯以围绕所述第一多个第一类型的灯和第一多个第二类型的灯,其中所述第四平面基本平行于所述第一平面。

22.根据权利要求21所述的方法,还包括调整所述第一平面和第四平面之间的距离以获得期望光谱。

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