[发明专利]用于光学元件的更换设备

说明书

本申请是申请日为2004年11月30日且发明名称为“用于光学元件的 更换设备”的中国专利申请No.200480038897.1的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种用于光学元件的更换设备，所述光学元件置于光刻物镜 内的两个相邻光学元件之间。此外，本发明涉及一种光刻物镜。

背景技术

已知光刻物镜，其中最后的光学元件(也就是说位于与需曝光的晶片最 接近位置处的光学元件)是可更换的。

此外也存在投影物镜，其中透镜镜筒保持在一支承结构中，并且可以被 整体更换。为此，需要破坏物镜的整体结构。

关于与本发明相关的现有技术，参考文献US 2002/0167740 A1和US 6449106 B1。

例如，如果光刻物镜内的光学元件(如透镜或反射镜)随时间过程发生改 变，并且损害了物镜的性能以致于不能实现其预期寿命，则，应该能够移走 该物镜内适当选定的光学元件，由此插入新的经适当加工的光学元件，这样 补偿了其它光学元件的成像误差。然而，已知的用于更换该最后的光学元件 的方法和设备不适于此目的。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种用于光学元件的更换设备，所述光学元 件安装在光刻物镜内的两个相邻光学元件之间，并允许进行这种更换。

根据本发明，为此目的提供了一种用于光学元件的更换设备，所述光学 元件安装在光刻物镜内的两个相邻光学元件之间，所述更换设备具有托架， 所述托架用于要被更换的光学元件，所述托架可以通过光刻物镜的壳体内的 侧面开口移入到所述光刻物镜内。

该更换设备能够从光刻物镜中移走光学元件，并且能够将另一个与光刻 物镜中的变化相特定匹配的光学元件再移入到光刻物镜内。通过这些措施， 可以显著改善光刻物镜的成象性能，而对光刻物镜的结构没有任何妨碍。所 需要的仅仅是光刻物镜的壳体中的侧面开口，其尺寸大小应使托架能够移入 到壳体内。此时，托架能够在光刻物镜内非常准确地定位光学元件。

根据本发明的更换设备可以特别有利地用在包括多个光学元件的光刻 物镜中。适用于该目的光刻物镜具有多个光学元件和至少一个用于安装在两 个相邻光学元件之间的光学元件的更换设备，所述光学元件的更换设备具有 托架，所述托架用于要被更换的光学元件，所述托架可以通过光刻物镜的壳 体内的侧面开口移入到所述光刻物镜内。

附图说明

以下，通过使用附图从原则上说明本发明的各种示例性实施例。

图1显示了具有多个光学元件和一更换设备的光刻物镜；

图2显示了从具有第一实施例的更换设备的图1沿II-II线的截面；

图3显示了具有加固元件的光学元件；

图4显示了更换设备的第二实施例；

图5显示了更换设备的第三实施例；

图6显示了光学元件的安装示意图；

图7显示了用于光刻物镜的壳体内的开口的密封件的第一实施例；

图8显示了用于光刻物镜的壳体内的开口的密封件的第二实施例；

图9显示了更换设备的第四实施例；以及

图10显示从图9按照箭头X看上去的视图。

具体实施方式

图1显示了具有壳体1a的光刻物镜1，其中以本身已知的方式布置有多 个光学元件2，如透镜、板或反射镜。在这种情况下，光学元件2在光刻物 镜1中的布置应该被看作是纯示例性的。光刻物镜1可以适合任何类型的光 刻，并且可以是在附图中未整体显示的曝光设备的一部分。使用所示的光刻 物镜1，如下所述，能够更换光学元件2a，该光学元件2a被安装或保持在 两个相邻光学元件2之间；所述两个相邻光学元件2优选地通过各自的支座 3永久地安装在光刻物镜1内，并因此是不可更换的。在根据图2的剖面视 图中可以观察到可更换的光学元件2a，其同样优选为透镜、板或反射镜，并 且，其优选地位于光刻物镜1的光瞳区域内。因此，与其它光学元件2相比， 可更换的光学元件2a可以设计成具有特别小的直径。然而，该可更换的光 学元件2a可以位于安装在光刻物镜1内的两个相邻光学元件2之间的任何 其它点处。