[发明专利]氢氧化四甲基铵的回收设备及其方法

权利要求书

1.一种氢氧化四甲基铵的回收设备，其特征在于，包括：

一废液槽，其包括含有氢氧化四甲基铵、光阻剂以及金属离子的废液；

一钠滤系统，其与该废液槽相连通，该钠滤系统具有至少一钠滤装置和一帮浦，该钠滤装置与该废液槽连通，且该帮浦设置在钠滤装置和废液槽之间；

一金属离子回收树脂塔，其连通于该钠滤系统；

一氢氧化四甲基铵树脂塔，其系连通于该金属离子回收树脂塔，且包括至少一氢氧化四甲基铵吸着树脂塔；

一回收处理水收集槽，其以管线连接至该钠滤系统以及该氢氧化四甲基铵吸着树脂塔；

至少一硫酸氢氧化四甲基铵收液槽，其连通于该氢氧化四甲基铵吸着树脂塔，以收集硫酸氢氧化四甲基铵；

一离子消除树脂塔，其连通于该硫酸氢氧化四甲基铵收液槽，其消除硫酸根SO₄^2-或氯离子Cl^-；

一氢氧化四甲基铵回收槽，其连通于该离子消除树脂塔，以收集纯化的氢氧化四甲基铵溶液。

2.如权利要求1所述的回收设备，其特征在于，还包括一预滤装置、一过滤装置以及一低氢氧化四甲基铵收液槽，该预滤装置设置在该废液槽和钠滤系统之间，该钠滤装置与该预滤装置连通，且该钠滤系统的帮浦设置在该钠滤装置和该预滤装置之间；该过滤装置设置于该离子消除树脂塔和该氢氧化四甲基铵回收槽之间，以令该氢氧化四甲基铵回收槽连接于该第二粗滤装置；该低氢氧化四甲基铵收液槽设置于该金属离子回收树脂塔和该回收处理水收集槽的氢氧化四甲基铵吸着树脂塔之间，且连通于各氢氧化四甲基铵吸着树脂塔；

其中，该氢氧化四甲基铵树脂塔是一种氢氧化四甲基铵转塔式树脂塔，其包括二氢氧化四甲基铵吸着树脂塔，其连通于该金属离子回收树脂塔。

3.如权利要求2所述的回收设备，其特征在于，该金属离子回收树脂塔具有螯合型离子交换树脂或强酸性阳离子树脂，且该金属离子回收树脂塔为逆向再生的树脂塔。

4.如权利要求2所述的回收设备，其特征在于，还包括一树脂逆洗塔，其连通于该离子消除树脂塔，而该离子消除树脂塔中具有强碱性树脂，且该离子消除树脂塔为满床式树脂塔。

5.一种氢氧化四甲基铵的回收方法，其特征在于，包括：

提供含有氢氧化四甲基铵、光阻剂和金属离子的废水；

将该废水经由钠滤处理，而移除废水中的光阻剂，以得到第一回收处理水；

将该第一回收处理水经由金属离子回收树脂作用而移除该第一回收处理水中的金属离子，以得到第二回收处理水；

将该第二回收处理水藉由氢氧化四甲基铵吸着树脂吸附部分氢氧化四甲基铵，经再生而获得具有硫酸氢氧化四甲基铵或氯化氢氧化四甲基铵的液体；

再将具有硫酸氢氧化四甲基铵或氯化氢氧化四甲基铵的液体经由强碱性树脂处理，以移除硫酸根SO₄^2-或氯离子Cl^-，而得到纯化的氢氧化四甲基铵溶液。

6.如权利要求5所述的回收方法，其特征在于，该第二回收处理水是通过转塔方式吸附部分氢氧化四甲基铵。

7.如权利要求5项所述的回收方法，其特征在于，：

在该废水经由钠滤系统处理之前，还进行一预滤步骤，以移除废水中的固态杂质；

在该废水移除硫酸根或氯离子后，还包括进行一过滤步骤，以获得无杂质的纯化的氢氧化四甲基铵溶液。

8.如权利要求5至7中任一项所述的回收方法，其特征在于，该金属离子回收树脂为螯合型离子交换树脂或强酸性阳离子交换树脂，而该强酸性阳离子交换树脂是采用逆向再生方式进行再生，逆向再生方式为压床水式或满床式。

9.如权利要求5所述的回收方法，其特征在于，该氢氧化四甲基铵吸着树脂为H型强酸性阳离子交换树脂或H型弱酸性阳离子交换树脂，且以转塔式进行的氢氧化四甲基铵吸着树脂的再生方式为正向再生，而再生水为去离子水。

10.如权利要求5所述的回收方法，其特征在于，该强碱性树脂饱和后利用氢氧化钠NaOH或氢氧化钾KOH溶液进行再生。