[发明专利]用于临时电触点接通太阳能电池的方法和装置无效
申请号: | 200910163409.4 | 申请日: | 2009-08-19 |
公开(公告)号: | CN101655539A | 公开(公告)日: | 2010-02-24 |
发明(设计)人: | 约尔格·基塞韦特;迈克尔·泰希;阿克塞尔·贝克尔;克劳斯·迪特里希;罗伯特·亨奇;弗兰克·齐尔 | 申请(专利权)人: | 苏斯显微技术测试系统有限公司 |
主分类号: | G01R31/36 | 分类号: | G01R31/36;G01R1/073 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 车 文;樊卫民 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 临时 触点 接通 太阳能电池 方法 装置 | ||
1.出于检测目的临时电触点接通太阳能电池的方法,所述方法包 括下列步骤:
-借助于样品保持架保持至少一个太阳能电池,其中,所述太阳 能电池包括至少两个电极连接部,在所述至少两个电极连接部上产生 电接触,
-借助于探针保持架保持至少一个探针,所述至少一个探针负责 触点接通电极连接部,其中,所述探针能够在至少一个方向上运动, 并且包括至少一个弹性的、能导电的接触元件和至少一个参考传感器, 用以指示所述接触元件至电极连接部的距离,
-如此彼此相对地定位所述太阳能电池或者所述探针,即,所述 太阳能电池的所述电极连接部和所述探针在所述探针的可能的运动方 向上彼此保持间距地对置,
-实施所述探针沿着所述运动方向朝向电极连接部的进给运动, 直至所述探针的所述参考传感器在达到所述参考传感器到所述太阳能 电池的参考面的预先限定的已知距离时产生电信号,后面称所述电信 号为参考信号,以及
-在所述接触元件触及所述电极连接部之后,将所述进给运动继 续一预先限定行程,以便实施所述接触元件的超行程。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,实施具有作为接触元件的 弯曲弹簧的探针的进给运动,其中,在产生所述参考信号之后,所述 探针的所述接触元件在所述超行程期间如此地从所述接触元件的静止 位置偏转出来,即,所述偏转运动具有沿进给运动的方向分量以及垂 直于其的方向分量。
3.根据前述权利要求之一所述的方法,其中,利用各一个探针来 电触点接通在所述太阳能电池正侧上的电极连接部和在所述太阳能电 池背侧上的电极连接部。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,将太阳能电池定位在至少 一对两者对置的探针之间,并且这两个探针通过彼此相向的进给运动 来触点接通所述太阳能电池。
5.根据权利要求1或2之一所述的方法,其中,所述太阳能电池以 其背侧贴放在所述样品保持架上,在所述太阳能电池背侧上的电极连 接部通过所述样品保持架的电导体来触点接通。
6.根据前述权利要求之一所述的方法,其中,太阳能电池的电极 连接部借助于探针的多个接触元件而同时触点接通。
7.根据前述权利要求之一所述的方法,其中,在太阳能电池的同 一侧上的至少两个电极连接部借助于至少两个探针同时触点接通。
8.根据权利要求6或7之一所述的方法,其中,为了线性或者面式 伸展地触点接通电极连接部或者探针系统,所述电极连接部或者探针 系统包括多个线性或者面式分布的探针,探针的进给运动借助于至少 两个彼此保持间距的参考传感器来控制,两个所述参考传感器均产生 独立的参考信号,并且所述探针或者所述探针系统的所述进给运动由 两个分运动组成,所述两个分运动互不依赖地借助于所述两个参考传 感器来控制。
9.根据前述权利要求之一所述的方法,其中,基于参考传感器与 所述太阳能电池上的参考面的接触来产生参考信号。
10.根据前述权利要求之一所述的方法,其中,参考面是所述太 阳能电池的电极连接部。
11.根据前述权利要求之一所述的方法,其中,首先将太阳能电 池设置在所述样品保持架上,并随后将所述太阳能电池与所述样品保 持架相连接和探针彼此相对地定位。
12.根据前述权利要求之一所述的方法,其中,结合对所述太阳 能电池上的所述电极连接部拍摄图像以及进行图像评估来对太阳能电 池和探针的彼此相对定位。
13.用于出于检测目的临时电触点接通太阳能电池的探针,所述 探针包括:
-至少一个弹性的、能导电的接触元件,用以产生电接触,
-至少一个参考传感器,用以指示所述接触元件到参考面的距离, 以及
-装配平面,所述接触元件的尖端相对于所述装配平面对齐。
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