[发明专利]发光装置的制造方法

说明书

本申请属分案申请，其母案的申请号为200380108578.9。该母 案的申请日为2003年11月5日。

技术领域

本发明所属的技术领域是，一种显示装置(以下称为“发光元 件”)的相关技术领域，其基板上具备由阳极、阴极、以及在上述 阳极和阴极之间包夹的利用所谓的电致发光(以下称为“EL”)现象 发光的薄膜所构成的元件；以及一种电子设备的相关技术领域，其 影像显示部具备该发光元件。

背景技术

用于影像显示的显示器是近代生活中不可或缺的发光元件之 一，从所谓的电视监视器、到近年来快速发展的液晶显示器，以及 今后将大有发展的有机EL显示器等，因用途不同而形态各异。特 别是液晶显示器或有机EL显示器，属于以低电压驱动的发光元件， 从节省能源的观点看，也是重要的影像显示器。

其中，有机EL显示器作为下一代平板显示器元件，最为引人 瞩目。

有机EL显示器的发光机制是，在电极之间设置由发光体组成 物构成的薄膜(以下称为“有机薄膜”)并通上电流，由此，从阴极 注入的电子和从阳极注入的空穴在发光体膜中的发光中心再次结 合形成分子激励子，利用该分子激励子返回基底状态时释放出来的 光子发光。

此外，发光体组成物形成的分子激励子的种类可以是单重激发 态和三重激发态，但在本说明书中包含任意一种激发态参与发光的 情况。

在这种有机EL显示器元件(以下称为“有机EL元件”)中， 通常以小于1μm的薄膜形成有机薄膜。另外，有机EL元件是发光 体膜本身发光的自发光型元件，因此，不需要现有的液晶显示器所 使用的背光。因此，有机EL元件可以做得非常薄而轻，这是一个 很大的优点。

另外，在例如100～200nm左右的有机薄膜中，如果考虑发光 体组成物膜的载流子移动性的话，从开始注入载流子直到再结合这 段时间大约是数十纳秒，即使包含从载流子的再结合直到发光这个 过程，也是在微秒以内的数量级内开始发光。因此，响应速度非常 快也是其特长之一。

进一步，有机EL元件是载流子注入型的发光元件，因此，可 以直流电压驱动，不易产生噪音。另外，通过形成100nm左右的 均匀超薄膜的有机薄膜并使用适当的有机材料，能够以数伏电压驱 动。即，有机EL元件是自发光型元件而且视野角度大，因此，不 仅视觉辨认度好，而且具有体积薄重量轻、响应速度快、直流低压 驱动等特性，可用作下一代发光元件。

为了制造这种有机EL元件，由发光体组成物构成的薄膜的形 成技术是必不可少的。例如，在液晶显示器中，为了显示全彩色， 必须在玻璃基板上规律地形成具有彩色滤波器功能的有机薄膜。另 一方面，在有机EL元件中，用来输送从电极注入的空穴和电子的 电荷输送材料、参与发光的发光材料是发光体组成物，必须在电极 之间以薄膜状形成这些化合物。

形成这种有机薄膜的技术有Langmuir-Blrogett法(LB法)、单 分子层叠膜法、浸渍涂层法、旋涂法、喷墨法、印刷法、或者蒸镀 法等各种各样的方法已被开发出来。这其中，尤其是喷墨法具有能 够高效利用有机材料、因装置结构简单而有可能小型化等优点，技 术上也已经接近于实用水平。在专利文献1等之中公开了有关喷墨 法的基础技术。

专利文献1：特开平10-12377号公报

所谓的喷墨法是将现有的打印机所使用的喷墨方式转用于形 成薄膜的技术，使用包含有机薄膜的材料-发光体组成物的溶液来 代替墨水，或者使用分散液以像素为单位喷涂液滴。液滴中包含的 溶媒蒸发，由此在各个像素上形成了薄膜。通过控制液滴在基板上 的附着位置，能够形成任意的细微模式。

但是，由于附着在像素(实际上是设置于各像素的像素电极) 上的液滴包含大量的溶媒成分，为了将它们去除，需要有使溶媒成 分挥发的工序(以下称为“焙烧工序”)。即，在利用喷墨法喷涂液 滴后，将像素整体加热使溶媒成分挥发，使残存的溶质(有机薄膜 的材料)形成薄膜。因此，在包含发光体组成物的溶液的溶媒的蒸 气压力低的情况下，不仅焙烧工序需要时间，相邻像素上附着的液 滴也容易掺混在一起，不利于形成细微的薄膜模式。另外，薄膜中 一旦残存下溶媒成分，溶媒随着时间而挥发，引起去气 (degasification)现象，成为引起有机薄膜退化、进而导致发光元 件退化的主要原因。进一步，为了将溶媒成分完全去除而提高加热 温度的话，会破坏耐热性低的有机薄膜的构成。