[发明专利]带有自动对准的流动通道的流量传感器无效
| 申请号： | 200910164630.1 | 申请日： | 2005-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101614570A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | A·帕马纳布汉;M·G·马基尼;U·邦纳 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 庞立志;孙秀武 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 自动 对准 流动 通道 流量传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种传感器，其包含：
用于检测至少一种流体特性的传感装置；
被设置用于引导流体在传感装置上流动的流动通道对准装置；
用于引导流体流入所述流动通道对准装置中的流动导向装置；以 及；
被设置于流动通道对准装置上的盖。
2.权利要求1的传感器，其中所述的传感装置包括加热元件。
3.权利要求2的传感器，其中所述的传感装置包括至少一个热传 感元件。
4.权利要求1的传感器，其中所述的流动通道对准装置包括形成 流动通道壁的聚合物层。
5.权利要求4的传感器，其中所述的聚合物是光致抗蚀剂。
6.权利要求5的传感器，其中所述的抗蚀剂是聚甲基丙烯酸甲基 酯。
7.权利要求5的流量传感器，其中所述的抗蚀剂是SU-8。
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