[发明专利]紫外线照射装置以及紫外线照射装置的点灯控制方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种使用于半导体基板或液晶基板的制造工序上的基板的洗净等的准分子灯的紫外线照射装置及该装置的点灯控制方法，尤其是，关于一种依据设置在准分子灯的IC标签的信息进行控制点灯装置的紫外线照射装置及该装置的点灯控制方法。 

背景技术

当前，在半导体基板或液晶基板的制造工序中，将这些基板的洗净作为目的而使用具有照射真空紫外线的准分子灯的紫外线照射装置。 

准分子灯是例如放射将氙气体作为发光物质的波长172nm的真空紫外光，而在洗净能力上比低压水银灯优异。 

上述的准分子灯在使用寿命末期时，则随着构成发光管的石英玻璃等劣化，真空紫外线的放射强度降低。所以必须更换新的，但一般很难从准分子灯的外观判断是否达到使用寿命末期。 

在此，提案有在各个准分子灯设置IC标签，而在该IC标签存储着准分子灯的总计点灯时间信息，作成可管理总计点灯时间的装置(例如，参照专利文献1)。 

图12及图13，是表示搭载准分子灯的紫外线照射装置的剖面图。图12是表示以平行于准分子灯的管轴的平面切剖的剖面图，图13是表示垂直于准分子灯的管轴的平面切剖的剖面图。 

如同图所示，紫外线照射装置是内部具有循环惰性气体的金属制壳体101。在壳体101的下方设置有光照射窗101a，而在壳体101的侧面，设有用于导入惰性气体的气体导入口101b，及用于排出惰性气体的气体排出口101c。 

在壳体101的内部，配置有管轴成为平行的方式排列配置的多支准分子灯100。沿着准分子灯100，将从准分子灯100所放射的紫外线朝被处理 物方向反射的导水筒状反射镜102，对应设置于各准分子灯100。设有反射镜102的各准分子灯100是例如将内部被固定于循环着水冷管104的铝制的冷却块103。 

准分子灯100在由透射真空紫外光的介质材料构成的发光管100a的两端，分别形成有埋设金属箔100e的密封部100f，而在发光管100a内部，线圈状内部电极100b配置于发光管100a的管轴上，而以绝缘体100d覆盖内部电极100b的周围。另外，在发光管100a的外表面配置有网状外部电极100c。 

在各金属箔100e，连接有朝发光管100a外方突出的外部引线100g，而在外部引线100g，连接有高压供电电缆120c，在其端部设有高压馈电端子120。 

在壳体101安装有树脂制连接器110，而在该连接器110内设有天线140。又，在高压供电电缆120c的端部安装有高压馈电端子120，而在高压供电端子120的绝缘座内设有IC标签13。 

通过将高压供电端子120的插头插入至上述连接器110，导通内部电极100b与高频点灯电源(未图示)。针对于外部电极100，虽未图示，但同样地与高频点灯电源导通。 

另外，准分子灯是除了表示于图12及图13的构造以外，例如专利文献3所示，公知有长方体类型，或是如专利文献4所示公知有双重管类型，也可使用此种型式的准分子灯。 

图14是表示将具备上述的IC标签的准分子灯进行点灯的紫外线照射装置10的系统结构的一例的图。 

准分子灯100是具备IC标签130，当安装有准分子灯100时，控制部21的IC标签R/W部21b通过天线21c从IC标签130读取作为IC标签130的信息，例如总计点灯时间。CPU21a是将该信息存储在存储部21d。 

并且，以高频点灯电源22对准分子灯100进行点灯的期间，随时有最新的点灯时间信息被加在存储于存储部21d的总计点灯时间。 

当该总计点灯时间到达使用寿命时间，则CPU21a是对于高频点灯电源22发送点灯停止信号，并进行关灯准分子灯100(参照专利文献1的段落0021、0022)。 

另外，在专利文献1，也记载有使用被记载在IC标签130的照度特性信息来控制准分子灯100(参照专利文献1的段落0023)。 

另外，作为使用IC标签的光源装置，提案有通过使多个灯具有的点灯时间或点灯次数等信息，而可供应正确的灯的信息的装置(参照专利文献2)。 

氙光源是亮度分别不相同，因此而在专利文献2记载有：事先将发货规格值记录在IC标签，而装置侧读取该发货规格值并设定最适当的灯电流值，作成以灯电源可控制氙光源(专利文献2的段落0030、0031、0032)。 

专利文献1：日本特开2007-123069号公报