[发明专利]在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置

权利要求书

1.一种制备透射电子显微镜样品架的方法，所述方法包括：

将样品连接到探针末梢的针尖上；

将探针针尖接合到透射电子显微镜样品架样坯上；

由探针针尖和透射电子显微镜样品架样坯形成一个透射电子显微镜样 品架。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述样品制备成用于在 聚焦离子束真空室外面进行透射电子显微镜检查。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述样品制备成用于在 在线聚焦离子束真空室内进行透射电子显微镜检查。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将一个或多个探针针尖 接合到透射电子显微镜样品架样坯并形成透射电子显微镜样品架的步骤还 包括：

在透射电子显微镜样品架样坯中提供透射电子显微镜样品架模板；

将探针针尖和透射电子显微镜样品架样坯进行定向，从而使样品在样 品架样坯中大约对中；

将探针针尖嵌入到透射电子显微镜样品架模板中；

将每个探针针尖的位于透射电子显微镜样品架模板边界之外的部分切 掉；以及

从透射电子显微镜样品架样坯上切出透射电子显微镜样品架。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述嵌入步骤还包括对 透射电子显微镜样品架样坯和探针针尖施加压力，以使围绕探针针尖的透 射电子显微镜样品架材料产生塑流。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接合步骤还包括将 所述探针针尖焊接到所述透射电子显微镜样品架样坯上。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接合步骤还包括用 粘结剂将所述探针针尖连接到所述透射电子显微镜样品架样坯上。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接合步骤还包括用 化学汽相沉积法将所述探针针尖连接到所述透射电子显微镜样品架样坯 上。

9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，将探针针尖的位于透射 电子显微镜样品架模板边界之外的部分切掉的步骤与切出透射电子显微镜 样品架的步骤是同时进行的。

10.一种制备透射电子显微镜样品架的方法，所述方法包括：

提供一个或多个探针末梢，所述探针末梢具有针尖；

在聚焦离子束内使样品与基片分离；

在聚焦离子束内将样品连接到探针针尖上；

从聚焦离子束上移走每个探针针尖和与之相连的样品；

在聚焦离子束外面将每个探针针尖接合到透射电子显微镜样品架样坯 上；以及

由探针针尖和透射电子显微镜样品架样坯形成一个透射电子显微镜样 品架。

11.一种制备透射电子显微镜样品架的方法，所述方法包括：

提供一个或多个探针末梢，所述探针末梢具有针尖；

在聚焦离子束内使样品与基片分离；

在聚焦离子束内将样品连接到探针针尖上；

从聚焦离子束上移走每个探针针尖和与之相连的样品；

在聚焦离子束内将每个探针针尖接合到透射电子显微镜样品架样坯 上；以及

在聚焦离子束真空室内由探针针尖和透射电子显微镜样品架样坯形成 一个透射电子显微镜样品架。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述将探针针尖接合 到透射电子显微镜样品架样坯和形成透射电子显微镜样品架的步骤还包 括：

在透射电子显微镜样品架样坯中提供透射电子显微镜样品架模板；

将探针针尖和透射电子显微镜样品架样坯进行定向，从而使样品在样 品架样坯中大约对中；

将探针针尖嵌入到透射电子显微镜样品架模板中；

将每个探针针尖的位于透射电子显微镜样品架模板边界之外的部分切 掉；以及

从透射电子显微镜样品架样坯上切出透射电子显微镜样品架。