[发明专利]靶材坯料的热处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及靶材坯料的热处理方法。

背景技术

在工业生产领域中，热处理工艺是对产品进行加热，使其符合性能要求。以金属靶材为例，热处理是靶材设计和加工过程中不可或缺的工艺，该工艺往往与塑性变形加工紧密结合，主要为了实现金属材料的再结晶，使得材料的组织均匀，最终满足溅射过程的要求。以铝靶材的热处理为例，不同的热处理温度、保温时间、加热方式，可以获得不同的金属材料组织结构。同样，对于钛靶材也适用。

现有靶材坯料的热处理工艺是将产品放入已设定参数(例如，热处理温度、保温时间等)的热处理炉内进行热处理作业，当产品达到热处理温度要求，进行保温，最后进行冷却。然而，这种方式对产品的加热速度慢，而且，通过控制热处理炉的温度来间接控制产品的温度，热处理工艺的准确性和稳定性低，很难保证产品的性能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种靶材坯料的热处理方法，解决现有技术中产品的加热速度慢、热处理工艺的准确性和稳定性低的问题。

为解决上述问题，本发明提供一种靶材坯料的热处理方法，包括：

提供靶材坯料；

以第一加热温度将所述靶材坯料加热至第二温度，所述第一加热温度大于靶材坯料的热处理温度，所述第二温度小于且接近靶材坯料的热处理温度；

以第三加热温度将所述靶材坯料加热至所述热处理温度，所述第三加热温度大于靶材坯料的热处理温度，且小于所述第一加热温度。

可选的，所述第一加热温度为靶材坯料的热处理温度加30℃～100℃。

可选的，所述第二温度为靶材坯料的热处理温度减10℃～30℃。

可选的，所述第三加热温度为靶材坯料的热处理温度加10℃～30℃。

可选的，通过热处理炉加热所述靶材坯料。

可选的，通过测温计测量所述靶材坯料的加热温度。

可选的，所述热处理方法还包括对所述加热至所述热处理温度的靶材坯料进行保温。

可选的，所述热处理方法还包括对所述加热和保温后的靶材坯料进行冷却。

可选的，所述靶材坯料在热处理之前已进行了塑性变形工艺。

与现有技术相比，上述热处理方法具有以下优点：

先以较高的高于热处理温度的温度(即第一加热温度)加热靶材坯料，相比于以热处理温度加热靶材坯料，靶材坯料的升温速度加快了。

在靶材坯料升温至接近热处理温度但未达到热处理温度(即第二温度)时，再以较低的高于热处理温度的温度(即第三加热温度)继续加热靶材坯料，可以降低靶材坯料的升温速度，使靶材坯料不会因加热温度过高而升温过快，因此保证了靶材坯料的温度不会超过热处理温度。

直接感测靶材坯料的实际升温效果，例如用测温计测量靶材坯料的加热温度，相比于通过控制热处理炉的温度来间接控制靶材坯料的温度，靶材坯料的加热温度和保温时间得到了更好地控制。

综上所述，应用上述热处理方法加快了产品的加热速度，缩短了产品的热处理时间，并且提高了热处理工艺的准确性和稳定性，因而可以获得符合性能要求和质量稳定的产品。

并且，应用上述热处理方法可以连续加热多个靶材坯料，实现产品的批量热处理工艺，进而使得产品的批量生产速度显著提高，产品的制作周期缩短了。

附图说明

图1为本发明实施方式靶材坯料的热处理方法的流程示意图；

图2为本发明实施例靶材坯料的热处理方法的流程示意图。

具体实施方式

本发明实施方式靶材坯料的热处理方法先以较高的高于热处理温度的加热温度加热靶材坯料，以使所述靶材坯料能够快速升温，然后在靶材坯料将要达到热处理温度时，再以较低的高于热处理温度的加热温度加热靶材坯料，以降低所述靶材坯料的升温速度，保证其不会超过预期的热处理温度。

本发明实施方式的热处理方法如图1所示，包括：

步骤S11，提供靶材坯料；

步骤S12，以第一加热温度将所述靶材坯料加热至第二温度，所述第一加热温度高于靶材坯料的热处理温度，所述第二温度低于且接近靶材坯料的热处理温度；

步骤S13，以第三加热温度将所述靶材坯料加热至所述热处理温度，所述第三加热温度高于靶材坯料的热处理温度，且低于所述第一加热温度。