[发明专利]石英玻璃的制造方法及石英玻璃的制造装置

权利要求书

1.一种石英玻璃的制造方法，是使用1个以上的燃烧器，在向该燃烧 器供给氧和氢而生成的氢氧火焰中导入硅化合物，堆积由火焰水解反应生成 的二氧化硅而形成多孔质母材，将该多孔质母材加热及烧结，形成透明玻璃 的石英玻璃的制造方法，其特征为：

向燃烧器供给在常温下其中的正氢和仲氢处于平衡状态的氢；

使用以气体的热容测量作为测量原理的测量装置或控制装置控制该氢 的流量；

把用低温贮槽储藏的液体氢汽化作为备用氢提供给燃烧器，

将所述氢转换成备用氢，

在实施所述转换时，即将被转换的氢流量乘以根据正氢的比热和仲氢的 比热预先确定的校正系数，调整氢的流量。

2.根据权利要求1记载的石英玻璃的制造方法，其特征为：所述气体 的热容测量作为测量原理的测量装置或控制装置是质量流量计。

3.根据权利要求1记载的石英玻璃的制造方法，其特征为：所述硅化 合物是四氯化硅。

4.根据权利要求1记载的石英玻璃的制造方法，其特征为：向所述1 个以上的燃烧器中的至少1个燃烧器火焰，除供给所述硅化合物之外，还供 给锗化合物。

5.根据权利要求4记载的石英玻璃的制造方法，其特征为：所述锗化 合物是四氯化锗。

6.根据权利要求1记载的石英玻璃的制造方法，其特征为：所述石英 玻璃的制造方法，通过VAD法，在边旋转边提升的原始材料顶端依次堆积， 形成多孔质母材。

7.根据权利要求1记载的石英玻璃的制造方法，其特征为：所述石英 玻璃的制造方法，通过OVD法，在旋转的原始材料周围堆积形成多孔质母 材。

8.一种石英玻璃的制造装置，其使用1个以上的燃烧器，在向该燃烧 器供给氧和氢而生成的氢氧火焰中导入硅化合物，堆积由火焰水解反应生成 的二氧化硅而形成多孔质母材，将该多孔质母材加热及烧结，形成透明玻璃 的石英玻璃，其特征为包括：

向燃烧器供给在常温下正氢和仲氢处于平衡状态的氢的第1氢供给设 备；

至少具有低温贮槽及汽化器，作为以常温制造或者储藏的氢的备用品， 提供通过所述汽化器将所述低温贮槽储藏的液体氢汽化后得到的备用氢的 第2氢供给设备；

用于控制氢的流量，且以气体的热容测量作为测量原理的测量装置或控 制装置；

在转换成所述备用氢时工作，把即将转换的氢流量乘以根据正氢的比热 和仲氢的比热预先确定的校正系数，校正氢流量的设定值的校正装置。

9.根据权利要求8记载的石英玻璃的制造装置，其特征为：以所述气 体的热容测量为测量原理的测量装置或控制装置是质量流量计。

10.根据权利要求8所述的石英玻璃的制造装置，其特征为：还包括检 测部，其用于检测氢供给源已从第1氢供给装置向第2氢供给装置转换；

所述校正装置，具有：

用于保存所述校正系数的校正系数存储部；

在所述检测部检测到了氢供给源已经从第1氢供给装置转换到第2氢供 给装置时，将所述校正系数乘以氢流量的设定值的运算部。

11.根据权利要求8记载的石英玻璃的制造装置，其特征为：所述校正 系数是使氢流量大致增加1%的值。

12.根据权利要求1记载的石英玻璃的制造方法，其特征为：所述校正 系数是使氢流量大致增加1%的值。