[发明专利]用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器

权利要求书

1.一种用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其设置在移动部(41)，所述移动部安装在曝光装置上并沿X、Y、Z轴方向和旋转方向运动，所述机器人夹持器上突出形成有用于支撑中间掩模(1)侧面边缘的一对侧面支撑件(421)，以便往返于盒(30)和轮(50)之间时运送中间掩模(1)，所述机器人夹持器还包括用于支撑中间掩模的上面的一对上面支撑件(422)，其特征在于：

当中间掩模(1)设置在所述夹持器(42)上时，在与中间掩模(1)相对的一侧面上设置有用于检测是否安装了中间掩模(1)的非接触式传感器(44)。

2.根据权利要求1所述的用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其特征在于，

在与所述中间掩模(1)对应的所述夹持器(42)的上面形成凹入的传感器安装槽(45)，用于插入所述非接触式传感器(44)。

3.根据权利要求2所述的用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其特征在于，

与所述上面支撑件(422)邻接设置一对所述传感器安装槽(45)，并使所述传感器安装槽(45)隔开设置，非接触式传感器(44)分别插在所述传感器安装槽(45)的内侧。