[发明专利]铜靶材的加工方法有效
申请号: | 200910165365.9 | 申请日: | 2009-08-07 |
公开(公告)号: | CN101619430A | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | C22F1/08 | 分类号: | C22F1/08;C23C14/34;C23C14/14 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 吴靖靓;李 丽 |
地址: | 315400浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜靶材 加工 方法 | ||
1.一种铜靶材的加工方法,包括对铜工件进行机械加工,其特征在于,为防止铜工件在加工过程中发生氧化,在对铜工件进行机械加工时采用喷雾冷却,在所述喷雾冷却中采用酒精作为切削液;所述机械加工包括三次精度渐增的机械加工,其中,在第三次机械加工时采用喷雾冷却;在机械加工过程中用刀头具有凸部的刀具加工铜工件。
2.如权利要求1所述的铜靶材的加工方法,其特征在于,所述喷雾冷却包括:将切削液喷射到切削区。
3.如权利要求1所述的铜靶材的加工方法,其特征在于,在机械加工过程中用全周夹具固定铜工件。
4.如权利要求1所述的铜靶材的加工方法,其特征在于,在两次机械加工之间对铜工件进行应力释放。
5.如权利要求4所述的铜靶材的加工方法,其特征在于,所述应力释放包括:将铜工件闲置至少8小时。
6.如权利要求5所述的铜靶材的加工方法,其特征在于,所述将铜工件闲置为将铜工件置于室温条件下。
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