[发明专利]空气流量计

权利要求书

1.一种热式空气流量计，其具有半导体基板、在半导体基板上形成的电绝缘膜以及在电绝缘膜上形成的发热电阻体及测温电阻体，通过除去与形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域对应的半导体基板部分而形成空洞，由此将形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域作为隔膜部，以包括隔膜部的周缘部的方式并在其外侧形成保护膜，在隔膜部的形成有发热电阻体主体部及测温电阻体主体部的区域未形成保护膜，

所述热式空气流量计的特征在于，

在与发热电阻体主体连接的发热电阻体配线或者与测温电阻体主体连接的测温电阻体配线横切隔膜部的周缘部的部位，与所述发热电阻体配线或者所述测温电阻体配线并列设置有从所述电绝缘膜凸出形成的膜构成部。

2.如权利要求1所述的热式空气流量计，其特征在于，

所述膜构成部是未被电连接的配线，并且该配置由与所述发热电阻体配线或者所述测温电阻体配线相同的材料形成。

3.如权利要求2所述的热式空气流量计，其特征在于，

与所述发热电阻体配线或者所述测温电阻体配线并列形成的、未被电连接的配线的线宽，比与所述配线邻接的所述发热电阻体配线或者所述测温电阻体配线的线宽宽。

4.如权利要求1所述的热式空气流量计，其特征在于，

在包含所述发热电阻体配线或者所述测温电阻体配线横切隔膜部的周缘部的部位在内的隔膜部的一边或者全部边，至少除形成有所述发热电阻体配线及所述测温电阻体配线的部分以外，在边全体形成有未被电连接的配线。

5.如权利要求2所述的热式空气流量计，其特征在于，

未被电连接的配线以斜向横切隔膜部的周缘部的方式形成。

6.如权利要求1所述的热式空气流量计，其特征在于，

在形成有保护膜的区域，在比隔膜部的周缘更靠外侧的位置，沿隔膜部的周缘在保护膜上形成有狭缝。

7.如权利要求1所述的热式空气流量计，其特征在于，

在形成有保护膜的区域，在比隔膜部的周缘更靠外侧的位置，沿隔膜部的周缘形成有未被电连接的窄幅配线。

8.一种热式空气流量计，其具有半导体基板、在半导体基板上形成的电绝缘膜以及在电绝缘膜上形成的发热电阻体及测温电阻体，通过除去与形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域对应的半导体基板部分而形成空洞，由此将形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域作为隔膜部，以包括隔膜部的周缘部的方式并在其外侧形成保护膜，在隔膜部的形成有发热电阻体主体部及测温电阻体主体部的区域未形成保护膜，

所述热式空气流量计的特征在于，

在与测温电阻体主体连接的测温电阻体配线横切隔膜部的周缘部的部位，所述测温电阻体配线的线宽比所述测温电阻体配线的其他部分宽。

9.一种热式空气流量计，其具有半导体基板、在半导体基板上形成的电绝缘膜以及在电绝缘膜上形成的发热电阻体及测温电阻体，通过除去与形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域对应的半导体基板部分而形成空洞，由此将形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域作为隔膜部，以包括隔膜部的周缘部的方式并在其外侧形成保护膜，在隔膜部的形成有发热电阻体主体部及测温电阻体主体部的区域未形成保护膜，

所述热式空气流量计的特征在于，

在与发热电阻体主体连接的发热电阻体配线或者与测温电阻体主体连接的测温电阻体配线横切隔膜部的周缘的部位，相对于隔膜部的周缘斜向形成有发热电阻体配线或者测温电阻体配线。

10.一种热式空气流量计，其具有半导体基板、在半导体基板上形成的电绝缘膜以及在电绝缘膜上形成的发热电阻体及测温电阻体，通过除去与形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域对应的半导体基板部分而形成空洞，由此将形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域作为隔膜部，从隔膜部的外侧越过隔膜部的周缘并到隔膜部的内侧形成保护膜，在隔膜部的形成有发热电阻体主体部及测温电阻体主体部的区域未形成保护膜，

所述热式空气流量计的特征在于，

设定从隔膜部的周缘到在隔膜部的内侧形成的保护膜的端部为止的长度，使得在隔膜部的未形成保护膜的区域的变形能量的最小值成为比在形成有保护膜的隔膜部的周缘部的变形能量的最小值大的值。