[发明专利]流量控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及控制流体流量的流量控制装置。

背景技术

现有技术中凭借流量控制阀对液体或气体等流体的流量进行控制是为公众所知的。在该流量控制阀中，当阀内存在对阀体进行驱动的机构时，来自于作为控制对象的流体的挥发气体(ガス)成分会透过阀内的膜片，并滞留在驱动机构的周围。此时，有可能由于该挥发气体成分的性质而腐蚀驱动机构的构成部件。因此，存在对阀体的驱动机构被上述挥发气体成分腐蚀进行抑制的流量控制阀(例如，参照专利文件1)。此外，在由电磁致动器驱动的流量控制阀种类中，存在对透过膜片的气体成分对于致动器或线路等的腐蚀加以抑制的流量控制阀(例如，参照专利文件2)。

另一方面，还存在具有如下构成的流量控制阀(例如，参照专利文件3)，其具有膜片，由被供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与另一侧面接触的流体的流量。如图6所示，在该流量控制阀301中，空气通过空气导入端口351流入流出，与膜片311连接的阀体312对应该空气的操作压力被驱动。因此，在阀体312隔着膜片311的相反侧的空间341内未设置活塞或电磁致动器等阀体312的驱动机构，故而不存在驱动机构会被透过膜片311的挥发气体成分腐蚀的问题。

【专利文献1】特开2004-19792号公报

【专利文献2】特开2003-83468号公报

【专利文献3】特开2008-202654号公报

发明内容

在上述专利文献3的流量控制阀中，通过对空气相对于空气导入端口351的供给及排出进行控制来调整操作压力的调节器是必要的，因而包含上述挥发气体成分的空气会通过该调节器。因此，出现了新的顾虑，即，调整操作压力的调节器的构成部件会被透过膜片311的挥发气体成分腐蚀。

本发明是鉴于上述问题提出的，主要目的在于提供一种流量控制装置，能够抑制通过控制流量控制阀的气体供给及排出来调整流量控制阀的操作压力的调节器的腐蚀。

为了解决上述问题，本发明第一方面的流量控制装置的特征在于包括：第一调节器，具有膜片，并通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与该膜片的另一侧面接触的流体的流量；第二调节器，通过控制上述第一调节器的气体供给及排出来调整上述操作压力；气体通道，使上述气体在上述第一调节器与上述第二调节器之间流通；缩窄通道，既使得上述第二调节器能够进行上述操作压力的调整又使得上述气体能够从上述气体通道排出。

此外，本发明第二方面的流量控制装置具有：第一调节器，其具有膜片，并通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与该膜片的另一侧面接触的流体的流量；第二调节器，通过控制上述第一调节器的气体供给及排出来调整上述操作压力；气体通道，使上述气体在上述第一调节器与上述第二调节器之间流通；缩窄通道，与上述气体通道连接且具有预定的微小流路面积。

根据上述第一方面和第二方面，由于包括第一调节器和第二调节器，其中，第一调节器具有膜片并通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与该膜片另一侧面接触的流体流量，第二调节器通过控制上述第一调节器的气体供给及排出来调整上述操作压力，因而能够根据第二调节器所调整的操作压力通过第一调节器来调整流体的流量。

在此，由于作为流量调整对象的流体与第一调节器具有的膜片接触，从而存在来自于该流体的挥发气体成分会透过膜片的情况。于是，该挥发气体成分与气体一起经由使该气体流通以在第一调节器与第二调节器之间调整操作压力的气体通道通过第二调节器，因而所担心的状况是第二调节器的构成部件会被腐蚀。

就该点而言，由于根据本发明的第一方面，具有既使得上述第二调节器能够进行上述操作压力的调整又使得气体能够从上述气体通道排出的缩窄通道，而根据本发明的第二方面，具有与上述气体通道连接且具有预定的微小流路面积的缩窄通道，因此，通过上述构成一边使得第二调节器能够进行操作压力的调整一边使得该挥发气体成分能够从缩窄通道排出，从而能够减少通过第二调节器的挥发气体成分的量。此外，当包含上述挥发气体成分的气体以较高的气压状态存在于上述气体通道内时，即使第二调节器关闭停止，也能够从缩窄通道排出上述气体，从而能够减少与第二调节器接触的挥发气体成分的量。所以，能够抑制对第一调节器的操作压力进行调整的第二调节器所受到的腐蚀。此外，也可以通过对使气体在上述第一调节器与上述第二调节器之间流通的气体通道进行加工来形成缩窄通道，也可以形成从该气体通道分支的分支通道。此外，该气体通道不限于连接第一调节器与第二调节器的配管，也可以包含位于上述调节器内部、使气体流通的内部通道。