[发明专利]中空柱状靶材及其组件无效
| 申请号： | 200910166813.7 | 申请日： | 2009-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101994088A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 吴忠翰;许伟勳;吴益昇 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中空 柱状 及其 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种中空柱状靶材组件，其特征在于，包括一背衬管与一靶材材料，其中该靶材材料为外管，该背衬管为内管，该内管是用以接合于该外管内，在外管与内管分离的状态下，内管的外径大于外管的内径，且该内管的外径和外管的内径的差值需等于靶材材料的降伏应变乘以外管的内径再乘以一系数N，N值介于1至10之间。
2.根据权利要求1所述的中空柱状靶材组件，其特征在于：该外管的内管壁具有凹槽。
3.根据权利要求1所述的中空柱状靶材组件，其特征在于：该内管的外管壁具有凹槽。
4.根据权利要求1所述的中空柱状靶材组件，其特征在于：该外管的内管壁和该内管的外管壁皆具有凹槽。
5.根据权利要求1至4中任一所述的中空柱状靶材组件，其特征在于：还包括一介质，该介质为导电材料，其设置于该外管和内管之间。
6.根据权利要求2至4中任一所述的中空柱状靶材组件，其特征在于：还包括一介质，该介质为导电材料，其设置于该外管和内管间的凹槽内。
7.一种中空柱状靶材，其包括根据权利要求1至6中任一所述的中空柱状靶材组件，且该内管接合于该外管内。
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