[发明专利]表面发射激光元件、阵列、光学扫描设备和成像装置

权利要求书

1.一种表面发射激光元件，该表面发射激光元件被配置成在垂直于基 底的方向发射光，该表面发射激光元件包括：

基底，该基底主平面的法向相对于[100]结晶取向的一个方向朝向[11 1]结晶取向的一个方向倾斜；以及

台面结构，该台面结构形成于所述基底上，且具有带氧化物的窄化结 构，其中所述氧化物包含至少由氧化要被选择性氧化的层的一部分而产生 的氧化物，且所述氧化物包含铝，且包围电流通道区域；

其中：

平行于所述基底的台面结构的截面平行于所述基底的表面，并且同时 正交于[100]结晶取向的一个方向和[111]结晶取向的一个方向；以及

穿过电流通道区域中心的第一方向的长度大于平行于所述基底的表面 并正交于所述第一方向的第二方向的长度。

2.如权利要求1所述的表面发射激光元件，其中平行于所述基底的台 面结构的截面的形状相对于穿过所述台面结构中心、并同时平行于所述[1 00]结晶取向的一个方向和所述[111]结晶取向的一个方向的虚拟平面成镜 像对称。

3.如权利要求1所述的表面发射激光元件，其中平行于所述基底的台 面结构的截面的形状是矩形。

4.如权利要求1所述的表面发射激光元件，其中平行于所述基底的电 流通道区域的截面的形状是圆形形状或者是具有n重对称的形状，其中n 是4或者更大的整数。

5.如权利要求1所述的表面发射激光元件，其中平行于所述基底的电 流通道区域的截面的形状使得最大宽度与最小宽度的比率小于1.2。

6.一种表面发射激光阵列，其中集成了如权利要求1所述的表面发射 激光元件。

7.一种被配置成用光束扫描要被扫描的表面的光学扫描设备，该光学 扫描设备包括：

具有如权利要求1所述的表面发射激光元件的光源；

偏转器，该偏转器被配置成偏转来自所述光源的光束；以及

扫描光学系统，该扫描光学系统被配置成以将被所述偏转器偏转的光 束聚焦在要被扫描的平面上。

8.一种被配置成用光束扫描要被扫描的表面的光学扫描设备，该光 学扫描设备包括：

具有如权利要求6所述的表面发射激光阵列的光源；

偏转器，该偏转器被配置成偏转来自所述光源的光束；以及

扫描光学系统，该扫描光学系统被配置成以将被所述偏转器偏转的光 束聚焦在要被扫描的平面上。

9.一种成像装置，包括：

至少一个图像载体；以及

至少一个如权利要求7所述光学扫描设备，该光学扫描设备被配置成 用包含图像信息的光束扫描所述至少一个图像载体。

10.如权利要求9所述的成像装置，其中，所述图像信息是多色的图 像信息。

11.一种成像装置，该成像装置被配置成以利用光束在对象上形成图 像，其中所述光束是由如权利要求1所述的表面发射激光元件发射的光 束。

12.一种成像装置，该成像装置被配置成以利用多束光束在对象上形 成图像，其中，所述多束光束是由如权利要求6所述的表面发射激光阵列 发射的多束光束。