[发明专利]一种(200)择优取向硫化铅薄膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 200910167920.1 申请日: 2009-10-16
公开(公告)号: CN101792930A 公开(公告)日: 2010-08-04
发明(设计)人: 邓宏;陈金菊;韦敏;李国伟 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: C30B29/46 分类号: C30B29/46;C30B7/14;H01L31/032;H01L31/18
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 葛启函
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 200 择优取向 硫化铅 薄膜 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种(200)择优取向硫化铅薄膜的制备方法,包括以下步骤:

步骤1:采用分析纯级氢氧化钠和去离子水配制浓度为0.1M-2.0M的氢氧化钠溶液,记 为溶液A;

步骤2:采用分析纯级硝酸铅和去离子水配制浓度为0.05M-0.5M的硝酸铅溶液,记为溶 液B;

步骤3:采用分析纯级硫脲和去离子水配制浓度为0.01M-0.5M的硫脲溶液,记为溶液C;

步骤4:将溶液A、溶液B和溶液C分别置于30℃的恒温条件下保存待用;

步骤5:取一定量的溶液A缓慢加入一定量的溶液B中,其中氢氧化钠和硝酸铅的摩尔 比为3∶1-6∶1之间,搅拌均匀后静置10至20分钟;

步骤6:将经清洗并干燥处理后的基片固定在沉淀用样品支架上,并竖直浸没于溶液C 中,其中溶液℃的温度控制在30℃;

步骤7:取步骤5所得溶液A和溶液B混合后的上层清液,缓慢加入到溶液C中,其中 硝酸铅和硫脲的摩尔比为2∶1-1∶1之间;在此过程中,采用磁力搅拌器对溶液进行搅拌; 保持反应沉积液在30℃的温度条件下反应沉积30至120分钟;

步骤8:取出样品,用去离子水清洗,80℃条件下烘干;

步骤9:将烘干后的样品放入敏化炉中进行恒温敏化处理,敏化温度为450℃-600℃,恒 温敏化时间为1~2小时,恒温敏化处理后的样品自然冷却至室温,即得(200)择优取向硫化 铅薄膜。

2.根据权利要求1所述的(200)择优取向硫化铅薄膜的制备方法,其特征在于,步骤 6中所采用的基片为硅、石英玻璃或K-9玻璃。

3.根据权利要求1所述的(200)择优取向硫化铅薄膜的制备方法,其特征在于,步骤 6和步骤7中溶液体系的温度控制方式采用恒温水浴控制方式。

4.根据权利要求1所述的(200)择优取向硫化铅薄膜的制备方法,其特征在于,步骤 6中所采用的基片需按以下步骤进行清洗:首先将基片置于重铬酸钾溶液中浸泡两个小时用 去离子水清洗;然后采用丙酮超声清洗10-15分钟;再采用无水乙醇室温下超声清洗10-15 分钟;最后干燥待用。

5.根据权利要求1所述的(200)择优取向硫化铅薄膜的制备方法,其特征在于,步骤 9中所述敏化炉为普通的管式炉,具体恒温敏化处理时采用大气或含氧气氛的敏化气氛。

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