[发明专利]控制微机械元件的装置与方法

权利要求书

1.一种利用非易失存储器装置的方法，该非易失存储器装置具有微机械 元件、接触电极和切换电极，该方法包括：

向该切换电极加载第一偏压电压；

将该微机械元件从与该接触电极隔开的第一状态运动到与该接触电极接 触并与该切换电极隔开第一距离的第二状态；

向该切换电极加载第二偏压电压；

将微机械元件运动到与该切换电极隔开第二距离的位置，该第二距离小于 该第一距离；

将加载到该切换电极上的该偏压电压转换到第三偏压电压；和

将微机械元件运动到该第一状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其中向该切换电极加载该第一偏压电压 将该微机械元件运动到该第二状态。

3.根据权利要求1所述的方法，其中该第三偏压电压大约为零。

4.根据权利要求1所述的方法，进一步包括在加载该第二偏压电压之前 去除该第一偏压电压。

5.根据权利要求1所述的方法，其中该微机械元件上涂有聚合物。

6.根据权利要求5所述的方法，其中该接触电极上涂有聚合物。

7.根据权利要求1所述的方法，进一步包括从该微机械元件向该接触电 极进行电荷转移以将该微机械元件编程。

8.根据权利要求1所述的方法，进一步包括将该微机械元件反编程。

9.根据权利要求1所述的方法，其中当该微机械元件运动到与该切换电 极隔开第二距离的位置时该微机械元件保持与该接触电极接触。

10.一种利用非易失存储器装置的方法，该非易失存储器装置具有微机械 元件、接触电极和切换电极，该方法包括：

向该切换电极加载第一偏压电压；

将微机械元件从与该接触电极隔开的第一状态运动到与该接触电极接触 的第二状态，从而在该微机械元件和该接触电极之间的界面处产生粘附能量；

将该微机械元件的弹性能量增加到大于在该微机械元件和该接触电极之 间界面处的粘附能量的值；和

将该微机械元件运动回到该第一状态。

11.根据权利要求10所述的方法，其中该微机械元件上涂有聚合物。

12.根据权利要求11所述的方法，其中该接触电极上涂有聚合物。

13.根据权利要求10所述的方法，进一步包括从该微机械元件向该接触 电极转移电荷以将该微机械元件编程。

14.根据权利要求10所述的方法，其中当该微机械元件的弹性能量增加 时该微机械元件保持与该切换电极隔开。

15.根据权利要求10所述的方法，进一步包括在增加该微机械元件的弹 性能量之前去除该第一偏压电压。

16.根据权利要求10所述的方法，进一步包括当微机械元件运动到该第 一状态时向该微机械元件加载电压。

17.根据权利要求10所述的方法，其中当增加该微机械元件的弹性能量 时该微机械元件保持与该接触电极接触。