[发明专利]用于旋转传感器装置的制造方法和旋转传感器装置

权利要求书

1.一种用于旋转传感器装置(120，150)的制造方法，该旋转传感器 装置具有支架、振动质量(122，152)和至少一个弹簧(124)，振动质量 (122，152)与支架通过所述至少一个弹簧(124)连接，其中，所述至少 一个弹簧(124)如此地设计，使得能够借助驱动装置将振动质量(122， 152)置于相对于支架绕振动轴线的振动运动中，该制造方法具有以下步骤：

形成具有由半导体材料和/或金属制成的第一层(108)和由半导体材 料和/或金属制成的第二层(112)的层序，其中，第一层(108)的面向第 二层(112)的边界面至少部分地被一绝缘层(110)所覆盖(S1)；

由第一层(108)结构化出所述至少一个弹簧(124)(S21)，所述至少 一个弹簧沿着振动轴线具有第一高度(hf)；和

由第二层(112)结构化出振动质量(122，152)的至少一个能够借助 驱动装置置于绕振动轴线的振动运动中的振动质量亚单元(S22)，所述振 动质量亚单元沿着振动轴线具有不同于第一高度(hf)的第二高度，

其中，所述由半导体层和/或金属层结构化出来的单个部件通过至少部 分地去除所述绝缘层(110)而彼此解耦并且由此可相对于彼此移动。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，第一层(108)构造成具 有第一层厚(hs2)并且第二层(112)构造成具有不同于第一层厚(hs2) 的第二层厚(hs3)。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其中，第一层(108)和第二层 (112)被如此地构造，使得第二层厚(hs3)大于第一层厚(hs2)。

4.根据权利要求3所述的制造方法，其中，第一层(108)和第二层 (112)被如此地构造，使得第二层厚(hs3)比第一层厚(hs2)大至少5 倍。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法，具有以下附加步骤：

将至少一个第一电极(130)牢固地设置在支架上；

将至少一个第二电极(128)牢固地设置在振动质量(122，152)上； 和

形成一个构造为静电式驱动装置的驱动装置，使得能够在所述至少一 个第一电极(130)和所述至少一个第二电极(128)之间施加一电压(U) 并且能够通过施加在所述至少一个第一电极(130)和所述至少一个第二电 极(128)之间的电压(U)将振动质量(122，152)置于绕振动轴线的振 动运动中。

6.根据权利要求5所述的制造方法，其中，由第二层(112)结构化 出第二电极(128)的至少一个电极亚单元，在第一层(108)的至少一个 部分区域上方在绝缘层(110)中形成至少一个贯穿的空隙且用第二层(112) 的材料填充所述至少一个贯穿的空隙，并且，由第一层(108)的所述至少 一个部分区域结构化出第二电极(128)的一个另外的电极亚单元。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法，其中，由第一层(108) 结构化出振动质量(152)的一个另外的一体的振动质量亚单元。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其中，由第二层(112)结构化 出至少一个对应电极(162)，所述至少一个对应电极(162)与由第一层(108) 的面向第二层(112)的边界面结构化出的振动质量部分表面(154，156， 158，160)相对置，并且，形成一个传感器装置，该传感器装置设计用于 感测由所述至少一个对应电极(162)和至少一个振动质量部分表面(154， 156，158，160)形成的电容。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法，具有以下附加步骤：

在基底(100)上形成第一绝缘层(102)；

在第一绝缘层(102)上形成导电层(104)；

在导电层(104)上形成第二绝缘层(106)；

在第二绝缘层(106)上形成所述层序；和

由导电层(104)结构化出至少一条导线和/或至少一个对应电极(164)。