[发明专利]化合物及其制造方法以及含有该化合物的抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种化合物，其是由式(I)或(I’)表示的化合物，

式(I)中，Z¹及Z²分别独立地表示氢原子、碳原子数1～12的烷基或碳原子数3～12的环状饱和烃基，在Z¹及Z²中，至少一方为碳原子数1～12的烷基或碳原子数3～12的环状饱和烃基，

环Y¹及环Y²分别独立地表示可被取代的碳原子数3～20的脂环式烃基，Q¹～Q⁴分别独立地表示氟原子或碳原子数1～6的全氟烷基，

式(I’)中，Q’¹～Q’⁴分别独立地表示氟原子或碳原子数1～6的全氟烷基，

m及n分别独立地表示0～5的整数。

2.根据权利要求1所述的化合物，其中，

Q¹～Q⁴及Q’¹～Q’⁴为氟原子。

3.一种化合物的制造方法，其是使式(II)所示的化合物与式(III)及式(IV)所示的化合物发生反应而制造式(I)所示的化合物的化合物的制造方法，

式(I)～式(IV)中，Z¹、Z²、环Y¹、环Y²及Q¹～Q⁴表示与上述相同的含义。

4.一种化合物的制造方法，其是使式(V)所示的化合物与式(III)及式(IV)所示的化合物发生脱水反应而制造式(I)所示的化合物的化合物的制造方法，

式(I)、式(III)～式(V)中，Z¹、Z²、环Y¹、环Y²及Q¹～Q⁴表示与上述相同的含义。

5.一种化合物的制造方法，其是使式(V’)所示的化合物与式(VII)及式(VIII)所示的化合物发生缩合反应而制造式(I’)所示的化合物的化合物的制造方法，

式(I’)、式(VII)、式(VIII)及式(V’)中，Q’¹～Q’⁴、m及n表示与上述相同的含义，L表示卤素原子。

6.一种酸增殖剂，其中，

含有权利要求1或2所述的化合物。

7.一种抗蚀剂组合物，其中，含有：

权利要求1或2所述的化合物；

具有对酸不稳定的基团且不溶或难溶于碱水溶液而与酸作用后能够在碱水溶液中溶解的树脂(A)；和

光酸发生剂(B)。