[发明专利]用于高精度点布置的改进电子束写入

权利要求书

1.一种用于磁存储设备的记录系统，包括：

用于生成束的束柱，所述束柱包括响应于一系列偏转信号控制所述束的偏 转的偏转板；

用于在所述束柱在磁存储介质的范围上的单次通过期间，在将所述束施加 到所述磁存储介质的范围上的多个点编组上时，相对于所述束移动所述磁存储 介质的平台；以及

用于将所述一系列的偏转信号顺序地提供给所述束柱的所述偏转板的信 号发生器，其中来自所述信号发生器的一系列偏转信号包括各自具有选择极性 和选择幅度的多个信号，从而在束柱的单次经过期间根据磁存储介质上的点编 组中的点位移偏转所述束。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述平台包括转盘，且所述磁 存储介质包括磁记录盘，使得通过所述转盘的盘移动包括所述盘相对于所述束 的旋转，且其中盘的范围包括同心数据磁道。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，偏转信号的选择极性包括用于 所述点编组的内部点的第一极性，且包括用于所述点编组的外部点的第二极 性，且在所述束柱在所述数据磁道上的单次经过期间所述内部点位于所述盘的 中心和所述束柱之间，且在所述束柱在所述数据磁道上的单次经过期间所述外 部点位于所述束柱和所述盘的外部边缘之间。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述偏转信号的所述选择幅度 是基于在所述束柱在所述数据磁道上的单次经过期间相对于所述束柱的位置 的所述点编组的点的位置的。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述点编组的点沿所述磁存储 介质的范围相互分立，使得在所述束柱沿所述范围的单次通过期间，在任意给 定时间所述束仅遇到一个点。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述点编组包括点的行，其中 所述行以并排的方式沿所述范围定位，且所述点在所述行间交错，使得一个或 多个偏移距离将所述行的相邻点分离，所述一个或多个偏移距离对应于来自所 述信号发生器的偏转信号之间的一个或多个时间间隔。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述一个或多个偏移距离在纳 米范围内，其中所述束柱包括电子束柱，且所述束包括电子束，且其中所述电 子束经由所述偏转信号的偏转精度在亚纳米范围内。

8.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述行的点相对于彼此偏斜， 使得任何给定点行的任何给定点从另一点行的相邻点沿所述磁存储介质移动 时的方向偏移第一距离，且使得所述给定点从所述另一点行或又一点行的另一 相邻点沿与所述磁存储介质移动时的方向相反的方向偏移第二距离。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述第一距离小于所述第二距 离。

10.一种用于磁存储设备的记录系统，包括：

用于生成束的束柱，所述束柱包括响应于一系列偏转信号控制所述束的偏 转的偏转板；

用于当所述束以连续交替的方式施加到所述磁存储介质的范围上的点时， 相对于所述束移动磁存储介质的平台；以及

用于将所述一系列的偏转信号顺序地提供给所述束柱的所述偏转板的信 号发生器，其中来自所述信号发生器的一系列偏转信号包括各自具有选择极性 和选择幅度的多个信号，从而根据所述磁存储介质的范围上的点的位移连续交 替所述束的偏转。

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述平台包括转盘，且 所述磁存储介质包括磁记录盘，使得通过所述转盘的盘移动包括所述盘相对于 所述束旋转，且其中盘的范围包括同心数据磁道。

12.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述点包括两个或多个 点编组，所述点编组的点沿所述磁存储介质的范围相互交错，使得当以连续交 替方式沿所述范围施加所述束时，所述束顺序地遇到所述交错点。