[发明专利]用于压电元件的电连接结构、压电致动器、头悬架、以及用于导电部件的电连接结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于支撑在磁盘驱动器中的磁头滑块的头悬架。特别地， 本发明涉及一种压电致动器，该压电致动器具有响应于施加的电压而变形的压 电元件，以在头悬架的横向方向上精密地移动磁头滑块。

背景技术

小型的精确信息设备正在快速发展并且对于能够对非常小的距离进行定 位控制的微致动器的需求正在增加。例如，用于校正焦距和倾角的光学系统、 用于控制墨头的喷墨式打印机、以及用于控制磁头的磁盘驱动器非常需要这样 的微致动器。

磁盘驱动器有一个迫切的问题需要解决，即增加存储容量。如果磁盘驱动 器中包含的每个磁盘的存储容量增加，则磁盘驱动器的存储容量通常会增加。 如果磁盘上每英寸的磁道(TPI)的数目增加，则磁盘的存储容量或记录密度 会增加而不需改变磁盘的直径。为此，磁盘上的每个磁道的宽度必须窄。为了 处理磁盘上的这种窄磁道，安装在磁盘驱动器中的头悬架的磁头必须在跨越磁 道的方向上进行精确定位操作。为了实现精确定位操作，需要一种能够在非常 小的区域准确地移动和定位磁头的致动器。

为了满足该需要，本发明的申请人已经在日本未审查专利申请公开 No.2002-184140中提出了一种用于磁盘驱动器的头悬架，包括底座、具有比底 座薄的铰链的连接板、设置具有挠曲部和磁头的载重梁、以及一对压电元件。

该相关技术采用了双致动器系统，该双致动器系统包括用于定位的目的的 音圈马达以及由PZT(锆钛酸铅)制成的压电元件。

该压电元件在头悬架的横向方向(摆动方向)精密地驱动载重梁的前端。 和仅采用音圈马达的单致动器系统相比，采用音圈马达和压电元件的双致动器 系统更加精确地定位附接到头悬架的前端的磁头。

对于采用双致动器系统的头悬架的一个重要的问题是如何向压电元件提 供电力。

在日本未审查专利申请公开No.2003-61371(尤其是该申请的图9和图10) 中揭示了处理该问题的技术。该相关技术在头悬架上布置了一对导线。一个导 线通过导线接合被连接到基极，并且另一个导线通过导线接合被连接到每个压 电元件的顶面的暴露部分。

该相关技术具有使压电元件破裂的危险，因为导线接合工艺在压电元件上 施加局部应力以获得结合强度。如果使用不使压电元件破裂的减小的力来执行 导线接合工艺，则接合强度将不足够，从而损害至压电元件的电连接的可靠性。 非常难于在压电元件上执行既满足生成率又满足压电元件的可靠性的导线接 合工艺。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于压电元件的电连接结构，该结构能够提供具 有电连接的压电元件而不损害压电元件的生产率和可靠性。本发明还提供了采 用压电元件的压电致动器、采用压电致动器的头悬架、以及用于导电部件的电 连接结构。

为了实现上述目的，本发明的一方面提供了一种用于压电元件的电连接结 构，该压电元件包括在压电致动器中，该压电致动器被布置在基底和磁头之间 并且根据压电元件的变形而精密地在摆动方向移动磁头。电连接结构包括布置 在压电元件上的电极；至少具有电绝缘层和置于电绝缘层上的配线的端子，配 置用于向电极提供电力；在端子中形成的至少穿过电绝缘层的通孔；围绕通孔 而布置的液体塞，当电极和端子被设置为彼此朝向使得电绝缘层位于压电元件 侧上时，该液体塞到达电极和端子之间；以及注入通孔的液体导电粘合剂，将 电极和配线彼此电连接。

该方面围绕通孔来布置液体塞，定位电极和端子使得电绝缘层位于压电元 件侧上并且液体塞位于电极和端子之间，并且将液体导电粘合剂注入通孔以电 将电极和配线彼此电连接。

该方面正确地实现了至压电元件的配线，而不需损坏压电元件或损害配线 的可靠性。

附图说明

图1是示出根据本发明的实施例的头悬架的立体图；

图2是示出布置在图1的头悬架中的压电致动器的立体图；

图3是沿图2的线A-A截取的截面图；

图4是示出图1的头悬架的后视图；

图5A和5B是示出可应用到图4的头悬架的配线和端子的细节的视图，其中 图5A是从头悬架的后面看过去的视图，图5B是从压电致动器看过去的视图；

图6A、6B和6C是示出可应用到图5A和5B的端子的电连接结构的第一例子 的视图，其中图6A是从压电元件看过去的前视图，图6B是右侧视图，图6C是 沿图4的线B-B截取的截面图；