[发明专利]光波导路装置的制造方法和由该方法获得的光波导路装置有效

专利信息
申请号: 200910171865.3 申请日: 2009-09-11
公开(公告)号: CN101676753A 公开(公告)日: 2010-03-24
发明(设计)人: 疋田贵巳;藤泽润一;清水裕介 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: G02B6/13 分类号: G02B6/13;G02B6/12
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 波导 装置 制造 方法 获得
【权利要求书】:

1.一种光波导路装置的制造方法,包括:在由以聚对苯二 甲酸乙二醇酯为主成分的材料构成的基板的正面形成下敷层的 工序;在该下敷层的正面形成芯形成用感光性树脂层的工序; 对该感光性树脂层照射照射线,曝光成规定的图案,将该曝光 部分形成芯的工序,其特征在于,在上述芯形成工序中,对上 述感光性树脂层照射的照射线是透过该感光性树脂层经过上述 基板的正面到达底面、并在此进行反射的照射线,上述基板是 下述(A)和(B)中的任一种基板:

(A)在背面形成有吸收上述照射线的颜色的着色层的带 有着色层的基板;

(B)整体以吸收上述照射线的颜色着色的着色基板。

2.根据权利要求1所述的光波导路装置的制造方法,吸收 上述照射线的颜色是黑色。

3.根据权利要求1或2所述的光波导路装置的制造方法,上 述照射线是紫外线。

4.一种光波导路装置,是由上述权利要求1所述的光波导 路装置的制造方法获得的光波导路装置,其特征在于,包括: 由以聚对苯二甲酸乙二醇酯为主成分的材料构成的基板;在该 基板的正面形成的、具有下敷层和芯的光波导路,上述芯由利 用照射线对芯形成用感光性树脂层进行了曝光的部分构成,上 述基板是下述(A)和(B)中的任一种基板:

(A)在背面形成有吸收上述照射线的颜色的着色层的带 有着色层的基板;

(B)整体以吸收上述照射线的颜色着色的着色基板。

5.根据权利要求4所述的光波导路装置,吸收上述照射线 的颜色是黑色。

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