[发明专利]光波导路装置的制造方法和由该方法获得的光波导路装置有效
申请号: | 200910171865.3 | 申请日: | 2009-09-11 |
公开(公告)号: | CN101676753A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 疋田贵巳;藤泽润一;清水裕介 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | G02B6/13 | 分类号: | G02B6/13;G02B6/12 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 波导 装置 制造 方法 获得 | ||
1.一种光波导路装置的制造方法,包括:在由以聚对苯二 甲酸乙二醇酯为主成分的材料构成的基板的正面形成下敷层的 工序;在该下敷层的正面形成芯形成用感光性树脂层的工序; 对该感光性树脂层照射照射线,曝光成规定的图案,将该曝光 部分形成芯的工序,其特征在于,在上述芯形成工序中,对上 述感光性树脂层照射的照射线是透过该感光性树脂层经过上述 基板的正面到达底面、并在此进行反射的照射线,上述基板是 下述(A)和(B)中的任一种基板:
(A)在背面形成有吸收上述照射线的颜色的着色层的带 有着色层的基板;
(B)整体以吸收上述照射线的颜色着色的着色基板。
2.根据权利要求1所述的光波导路装置的制造方法,吸收 上述照射线的颜色是黑色。
3.根据权利要求1或2所述的光波导路装置的制造方法,上 述照射线是紫外线。
4.一种光波导路装置,是由上述权利要求1所述的光波导 路装置的制造方法获得的光波导路装置,其特征在于,包括: 由以聚对苯二甲酸乙二醇酯为主成分的材料构成的基板;在该 基板的正面形成的、具有下敷层和芯的光波导路,上述芯由利 用照射线对芯形成用感光性树脂层进行了曝光的部分构成,上 述基板是下述(A)和(B)中的任一种基板:
(A)在背面形成有吸收上述照射线的颜色的着色层的带 有着色层的基板;
(B)整体以吸收上述照射线的颜色着色的着色基板。
5.根据权利要求4所述的光波导路装置,吸收上述照射线 的颜色是黑色。
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