[发明专利]线状锯及工件加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种线状锯(wire saw)及工件加工方法，该线状锯 在多个主辊上多重地卷绕1根加工用的线材，通过使线材一边与加工 对象的工件抵接一边行进，进行工件的切断加工或者槽加工。

背景技术

在现有的线状锯中，1根加工用的线材，以固定间距多重地卷绕 在多个主辊上。由此，工件的切断加工或者槽加工的间距，是该线状 锯所固有的固定间距的值。由此，在变更加工间距时，必须将多个主 辊换替成不同间距的辊，或者利用其它的线状锯，将工件重新设置在 该线状锯的加工位置上，以所期望的间距进行加工。这种作业复杂， 效率低。

另一方面，在专利文献1中开示了一种线状锯，其以不同的间 距对半导体晶片等工件进行直角的切断加工或者槽加工。根据该装 置，由于对于圆板状的工件，多个线材以直角相交叉，以不同间距排 列，所以可以以不同的间距，利用1台线状锯进行直角方向的加工。

但是，在专利文献1的装置中，需要多个线材，与之相伴而必 须设置与线材数量相应的线材驱动源或者驱动系统，并且必须是在多 个线材的交叉位置上线材不会发生干涉的特殊机构。其结果，线状锯 的结构变得复杂。

专利文献1：特开平8-306647号公报

发明内容

由此，本发明的课题是，在线状锯中，可以由1根线材以不同 的间距进行连续加工，同时，使对多个主辊的线材的卷绕和线材的驱 动系统的结构简单化。

以上述课题为基础，本发明的线状锯，使加工用的1根线材以 螺旋状多重地卷绕在多个主辊上，一边使线材与加工对象的工件抵接 一边行进，进行工件加工，其中，使多个主辊中的一对主辊的线材的 间距、和另一对主辊的线材的间距不同，使不同间距的线材与工件相 对，从而可以以不同间距进行工件的切断加工和槽加工。

具体地说，技术方案1的发明，使加工用的1根线材(6)以螺 旋状多重地卷绕在多个主辊(2、3、4、5)上，通过使线材(6)一 边与加工对象的工件(7)抵接一边行进，进行工件(7)的加工，其 中，上述主辊(2、3、4、5)以互相平行的状态可自由旋转地支撑在 托架(8)上，同时托架(8)可以利用与主辊(2、3、4、5)平行的 旋转轴(9)及与旋转轴(9)连结的旋转驱动电动机(10)，旋转规 定的旋转角度，一对主辊(4、5)上的线材(6)的第1间距(P1)、 和另一对主辊(2、3)上的线材(6)的第2间距(P2)不同，通过 旋转驱动电动机(10)的驱动，使旋转轴(9)旋转规定的旋转角度， 从而可以选择性地使不同的第1间距(P1)及第2间距(P2)与工 件(7)相对。

技术方案2的发明，在技术方案1记载的线状锯(1)中，以包 围一对主辊(4、5)及另一对主辊(2、3)的方式，在成对的主辊(4、 5)之间和另一成对的主辊(2、3)之间，分别以不同的第1间距(P1) 及第2间距(P2)连续地卷绕线材(6)。

技术方案3的发明，在技术方案1记载的线状锯(1)中，将以 下两种卷绕方式组合，即，以包围一对主辊(4、5)及另一对主辊(2、 3)方式，在成对的主辊(4、5)之间和另一成对的主辊(2、3)之 间，分别以不同的第1间距(P1)及第2间距(P2)卷绕线材(6) 的卷绕方式，以及，以仅包围另一对主辊(2、3)的方式，以较小的 第2间距(P2)卷绕线材(6)的卷绕方式。

技术方案4的发明，在技术方案1记载的线状锯(1)中，将以 下两种卷绕方式组合，即，以仅包围一对主辊(4、5)的方式，以第 1间距(P1)卷绕线材(6)的卷绕方式，以及，以仅包围另一对主 辊(2、3)的方式，以第2间距(P2)卷绕线材(6)的卷绕方式。

技术方案5的发明，在使用技术方案1至技术方案4中的任一 项所述的线状锯(1)，加工工件(7)的过程中，将工件(7)支撑 在可水平旋转的加工台(14)上，在利用一对主辊(4、5)之间的第 1间距(P1)的线材(6)的线材面进行第1加工之后，使工件(7) 与加工台(14)一起水平旋转90度，同时使线状锯(1)的旋转轴(9) 旋转，使另一对主辊(2、3)之间的不同的第2间距(P2)的线材 (6)的线材面与工件(7)相对，进行第2加工，从而，在与同一工 件(7)正交的方向上，由不同的第1间距(P1)及第2间距(P2) 进行切断加工或槽加工。

发明的效果