[发明专利]玻璃衬底上光控制备硅薄膜太阳能电池的方法及沉积室

权利要求书

1.一种玻璃衬底上光控制备硅薄膜太阳能电池的方法，其特征在于是按 下述步骤制备而成：

(1)、以标准工艺清洗的带有织构的透明导电膜的玻璃为衬底；

(2)、将清洗过的玻璃衬底置于沉积室中，用所需频率的光照，依次用等 离子体反应沉积，制备稳定均匀的p、i、n层硅薄膜太阳能电池，用频率为 1.2×10¹⁴Hz和2×10¹⁵Hz照射；光照退火时间2-70分钟，不同的频率的光子 能量不同，产生不同性质的多晶硅薄膜，在真空状态下自然冷却到室温；

(3)、然后取出，然后再蒸镀金属电极铝，电池电极从透明导电膜和铝引 出，这样就在玻璃衬底上制备硅薄太阳能电池。

2.根据权利要求1所述的玻璃衬底上光控制备硅薄膜太阳能电池的方法， 其特征在于：所述沉积和光照的步骤可以在沉积室内沉积、光照退火一次完成。

3.根据权利要求1所述的玻璃衬底上光控制备硅薄膜太阳能电池的方法， 其特征在于：所述沉积和光照的步骤可以根据需要在沉积室内沉积、光照退火 交替多次进行。

4.根据权利要求1所述的玻璃衬底上光控制备硅薄膜太阳能电池的方法， 其特征在于：所述光照退火处理过程中的最高温度应稍微高于玻璃软化点温度， 这样可以使玻璃软化，与硅膜因处理过程中产生的变化相适应。