[发明专利]用封装材料封装固定在托板上电子器件的装置和方法有效

专利信息
申请号: 200910173471.1 申请日: 2004-01-06
公开(公告)号: CN101667549A 公开(公告)日: 2010-03-10
发明(设计)人: M·H·韦亨;M·H·L·特尼森;W·G·J·加尔 申请(专利权)人: 菲科公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/28
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 白 皎
地址: 荷兰*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要:
搜索关键词: 封装 材料 固定 托板上 电子器件 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用封装材料封装固定在托板上的电子器件的装置,该装置 包括:

相配合的第一模具部件和第二模具部件,所述第一模具部件和第 二模具部件能够在封装位置和打开位置之间彼此相对移动,在封装位 置时,所述第一模具部件和第二模具部件封闭在托板上,占据形成至 少一个模腔的位置,该模腔封闭所述托板的至少一部分,在打开位置 时,所述第一模具部件和第二模具部件彼此分开的距离大于在封装位 置的距离;

输送机构,用于使封装材料连接到至少一个凸出边缘,一部分托 板的接收空间位于该凸出边缘的下面;

其特征在于,该凸出边缘与第一模具部件形成固定的组件,一条 形部件可拆卸地安装在所述第一模具部件上,所述凸出边缘是所述条 形部件的一部分,所述条形部件具有凹进部分,封装材料能够流过该 凹进部分,

该第一模具部件还接收托板的可移动支承件,该支承件相对于凸 出边缘在所述第一模具部件内可移动,使得托板以可控的力推压在该 凸出边缘上。

2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,该可移动支承件形成 部分托板接收空间的一侧。

3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,该装置具有使托板沿 可移动支承件方向移动的脱模装置。

4.如权利要求3所述的装置,其特征在于,该脱模装置由至少一 个加压部件形成,该加压部件配置在所述第一模具部件和所述第二模 具部件中的一个中,能够在偏压下移动。

5.如权利要求4所述的装置,其特征在于,该加压部件连接于控 制部件,在第一模具部件和第二模具部件紧合在一起的状态下,该控 制部件将加压部件推压到加压部件位于不接触托板的位置。

6.一种采用权利要求1所述的装置用封装材料封装固定在托板上 的电子器件的方法,该方法包括以下步骤:

A)将托板放在第一模具部件上,使得至少一个结合于第一模具 部件的凸出边缘位于托板的一侧,该侧与托板支承在第一模具部件的 一侧相反;

B)减小凸出边缘和支承托板的第一模具部件的支承件之间的距 离,使得一部分托板被卡紧在支承托板的第一模具部件的支承件和凸 出边缘之间;

C)将第二模具部件紧合在第一模具部件上,使得在托板上封闭 地形成至少一个模腔;

D)将液态封装材料输送到该模腔中;

其特征在于,在操作步骤B)期间,该支承件在第一模具部件中 移向保持固定的凸出边缘。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,该托板能够相对凸出 边缘转动。

8.如权利要求6所述的方法,其特征在于,将第一和第二模具部 件分开,并从第一模具部件中取出其上具有封装外壳的托板和其余部 分固化封装材料,在托板和其余部分固化封装材料彼此分开的状态下 取出。

9.如权利要求6所述的方法,其特征在于,按照操作步骤C)将 第二模具部件紧合在第一模具部件上之后,使这两个模具部件分开 1-50μm的距离,然后减小该凸出边缘和支承托板的第一模具部件的支 承件之间的距离,使得部分托板以可控的力卡紧在第一模具部件的支 承件和凸出边缘之间。

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