[发明专利]光刻设备和运行该设备的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种浸没光刻设备。

背景技术

光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上，通常是衬底的目标部分上 的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(IC)的制造中。在这种情 况下，可以将可选地称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成在所述IC 的单层上待形成的电路图案。可以将该图案转移到衬底(例如，硅晶片) 上的目标部分(例如，包括一部分管芯、一个或多个管芯)上。通常，图 案的转移是通过把图案成像到提供到衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层 上进行的。通常，单独的衬底将包含被连续形成图案的相邻目标部分的网 络。公知的光刻设备包括：所谓步进机，在所述步进机中，通过将全部图 案一次曝光到所述目标部分上来辐射每一个目标部分；以及所谓扫描器， 在所述扫描器中，通过辐射束沿给定方向(“扫描”方向)扫描所述图案、 同时沿与该方向平行或反向平行的方向同步地扫描所述衬底来辐射每一 个目标部分。也可能通过将图案压印(imprinting)到衬底上的方式从图案 形成装置将图案转移到衬底上。

已经提出将光刻投影设备中的衬底浸入到具有相对高折射率的液体 (例如水)中，以便充满投影系统的最终元件和衬底之间的空间。在实施 例中，液体是蒸馏水，但是可以使用其他液体。本发明的实施例将参考液 体进行描述。然而，其它流体也可能是适合的，尤其是润湿性流体、不可 压缩的流体和/或具有比空气高的折射率的流体，期望地，其为具有比水高 的折射率的流体。除气体之外的流体尤其是希望的。这样能够实现更小特 征的成像，因为在液体中曝光辐射将会具有更短的波长。(液体的影响也 可以被看成提高系统的有效数值孔径(NA)，并且也增加焦深)。还提出 了其他浸没液体，包括其中悬浮有固体颗粒(例如石英)的水，或具有纳 米悬浮颗粒(例如具有最大尺寸达10nm的颗粒)的液体。这种悬浮的颗 粒可以具有或不具有与它们悬浮所在的液体相似或相同的折射率。其他可 能合适的液体包括烃(例如芳香烃、氟化烃和/或水溶液)。

将衬底或衬底与衬底台浸入液体浴器(参见，例如美国专利 US4,509,852)意味着在扫描曝光过程中需要加速很大体积的液体。这可能 需要额外的或更大功率的电动机，而液体中的湍流可能会导致不希望的或 不能预期的效果。

在浸没设备中，浸没流体通过流体处理系统、结果或设备进行处理。 在实施例中，流体处理系统可以供给浸没流体，因而是流体供给系统。在 实施例中，流体处理系统可以至少部分地限制浸没流体，因而是流体限制 系统。在实施例中，流体处理系统可以提供浸没流体的阻挡件，因而是阻 挡构件，例如流体限制结构。在实施例中，流体处理系统可以形成或使用 气流，例如帮助控制浸没流体的流量和/或位置。气流可以形成密封以限制 浸没流体，使得流体处理结构可以被称为密封部件；这种密封部件可以是 流体限制结构。在实施例中，浸没液体被用作浸没流体。在这种情况中， 流体处理系统可以是液体处理系统。关于前面的介绍，在本文中相对于流 体进行限定的特征可以被理解为包括相对于液体进行限定的特征。

所提出的布置的一种是用于液体供给系统，用以使用液体限制系统将 液体提供到衬底的仅局部区域和投影系统的最终元件和衬底之间(通常衬 底具有比投影系统的最终元件大的表面积)。已经提出用以布置这种结构/ 系统的一种方法在PCT专利申请出版物第WO99/49504号中公开了。正如 图2和3示出的，通过至少一个入口IN，优选地沿着衬底相对于最终元件 的移动方向将液体供给到衬底上。在已经通过投影系统下面后，液体通过 至少一个出口OUT去除。也就是说，当衬底在所述元件下沿着-X方向 被扫描时，液体在元件的+X一侧供给并且在-X一侧去除。图2是所述 布置的示意图，其中液体通过入口IN供给，并在元件的另一侧通过与低 压源相连的出口OUT去除。在图2的示图中，液体沿着衬底相对于最终 元件的移动方向供给，但是这并不是必须的。可以在最终元件周围设置各 种方向和数目的入口和出口，图3示出了一个实例，其中在最终元件的周 围在每侧上以规则的重复方式设置了四组入口和出口。