[发明专利]包括致动器的静电马达

权利要求书

1.一种包括致动器(10)的静电马达(5)，所述致动器(10) 包括固定电极结构(24)和活动电极结构(26)，所述活动电极结构 被设置以便在被施加于所述电极结构(24、26)之间的静电力的效应 下从被称作静止位置的第一位置向被称作完全位移位置的第二位置进 行循环移动，且随后在没有所述静电力的情况下返回所述静止位置， 所述马达(5)进一步包括并励装置，所述并励装置被连接在所述固定 电极结构(24)与所述活动电极结构(26)之间，从而使得一旦所述 活动电极结构(26)到达所述完全位移位置，则对所述电极结构进行 循环放电从而去除所述静电力，且所述马达(5)进一步包括发生器(8)， 所述发生器(8)被连接在所述固定电极结构(24)与所述活动电极结 构(26)之间，从而通过在所述活动电极(26)位于所述静止位置处 时开始进行充电的方式对所述电极结构进行循环充电，所述电极结构 所具有的静电电容C_Comb作为所述活动电极结构(26)沿所述完全位移 位置的方向行进离开所述静止位置的路径的严格递增函数而进行变 化，所述马达(5)的特征在于，所述发生器(8)是用于产生确定电 压U_D的电压发生器(8)，且其特征在于，一旦所述发生器(8)已将 为了完成循环同时以足够的速度驱动所述马达(5)所需的静电能量供 应给所述致动器，则所述发生器(8)停止对所述电极结构的充电，即 所述发生器(8)在所述活动电极结构(26)已到达所述完全位移位置 之前停止充电。

2.根据权利要求1所述的静电马达，其特征在于，所述静电马达 包括用于控制所述致动器(10)的功率供应的调节装置(7)，且其特 征在于，所述调节装置被设置以便在所述活动电极结构(26)大约位 于优化位置处时使所述发生器(8)停止对所述电极结构(24、26)充 电，在所述优化位置处，所述电极结构的所述静电电容C_Comb从静止位 置的增量等于Crel=(Cp+Cact_m)·Cp-Cp]]>

其中C_p为活动电极结构位于静止位置处时的电容；C_{act_m}为当活动 电极结构从静止位置移至完全位移位置时出现的电容增加。

3.根据权利要求2所述的静电马达，其特征在于，所述静电马达 包括用于测量所述活动电极结构的位移的装置，且其特征在于，所述 电压发生器(8)可在多个预定输出电压U_D之间进行选择性切换，且其 特征在于，所述调节装置(7)被设置从而使得：当所述活动电极结构 (26)在循环结束时并未到达所述完全位移位置时，通过所述调节装 置对所述电压发生器(8)进行控制从而选择更高的输出电压。

4.根据权利要求3所述的静电马达，其特征在于，用于所述活动 电极结构(26)的所述位移测量装置被设置以便测量所述活动电极结 构的速度，且其特征在于，所述调节装置(7)被设置从而使得：如果 所测得的活动电极结构速度过低，则通过所述调节装置使所述电压发 生器(8)在超出所述优化位置的情况下延长对所述电极结构(24、26) 进行充电的阶段，以便防止为达到所述完全位移位置所需的时间过长。