[发明专利]液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置有效
申请号: | 200910173568.2 | 申请日: | 2009-09-17 |
公开(公告)号: | CN101676109A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 宫泽弘;伊藤浩;两角浩一;加藤治郎 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/045 | 分类号: | B41J2/045;B41J2/01;H01L41/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;李 伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 喷射 装置 执行 元件 | ||
1.一种液体喷射头,其特征在于,具备:
流路形成基板,其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室;和
压电元件,其具有:第一电极、形成在该第一电极上的具有由通式ABO3表示的钙钛矿构造的压电体层、以及形成在该压电体层的与所述第一电极相反侧的第二电极;
所述压电体层具有单斜晶系构造,
所述第一电极及所述第二电极之间产生的电场的方向与所述压电体层的极矩的方向所成的角度,比所述压电体层的压电常数为极大时所述电场的方向与所述压电体层的极矩的方向所成的角度大。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,
所述第一电极及所述第二电极之间产生的电场的方向与所述压电体层的极矩的方向所成的角度,比所述压电体层的压电常数为极大时所述电场的方向与所述压电体层的极矩的方向所成的角度大3°以上。
3.根据权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,
所述压电体层包含铅、锆及钛。
4.根据权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,
所述压电体层在(100)面优先取向。
5.根据权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,
所述第一电极及所述第二电极之间产生的电场的方向是从所述第一电极向所述第二电极的方向。
6.根据权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,
所述压电体层的变位量相对于反复的电场施加,随着反复次数而上升。
7.根据权利要求6所述的液体喷射头,其特征在于,
所述压电体层的变位量相对于反复的电场施加,随着反复次数而上升,之后下降。
8.一种液体喷射装置,其特征在于,具备:
权利要求1~7中任意一项所述的液体喷射头;和向所述第一电极及第二电极施加电压,使所述压电元件产生规定方向的电场的驱动机构。
9.一种执行元件装置,其特征在于,
具备压电元件,该压电元件由第一电极、形成在该第一电极上的具有由通式ABO3表示的钙钛矿构造的压电体层、和形成在该压电体层的与所述第一电极相反侧的第二电极构成,
所述压电体层具有单斜晶系构造,
所述第一电极及所述第二电极之间产生的电场的方向与所述压电体层的极矩的方向所成的角度,比所述压电体层的压电常数为极大时所述电场的方向与所述压电体层的极矩的方向所成的角度大。
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